[实用新型]蚀刻清洗槽无效
| 申请号： | 200920189642.5 | 申请日： | 2009-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN201473591U | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 王乾旭;黄娟 | 申请（专利权）人： | 吴东升 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;B08B3/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 322100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种蚀刻清洗槽，其特征在于，包括一槽体，所述槽体侧壁的上部外设一圈可存储药水的暂存区，所述暂存区侧壁比槽体侧壁高，所述暂存区侧壁上开设有进液口，所述槽体侧壁的下部设有抽液口，所述槽体底壁上方设置有鼓泡板，所述鼓泡板上开设有均与分布的鼓泡孔。
2.根据权利要求1所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述槽体为长方体形。
3.根据权利要求1所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述槽体为圆柱体形。
4.根据权利要求2所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述暂存区的四个侧壁分别开设有进液口，槽体左侧壁和右侧壁的下部分别开设有抽液口。
5.根据权利要求1-4任一项所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述槽体底壁向中心倾斜。
6.根据权利要求1-4任一项所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述槽体侧壁顶部为锯齿状。
7.根据权利要求1-4任一项所述的蚀刻清洗槽，其特征在于，所述鼓泡孔为圆形。
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