[实用新型]磁控溅射生产线中移动式回架车的专用供电装置无效
申请号: | 200920187048.2 | 申请日: | 2009-08-18 |
公开(公告)号: | CN201490215U | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
发明(设计)人: | 彭为报;刘海;张泽军 | 申请(专利权)人: | 普乐新能源(蚌埠)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人: | 王琪 |
地址: | 233030 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁控溅射 生产线 移动式 回架车 专用 供电 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种磁控溅射生产线中移动式回架车的专用供电装置。
背景技术
现有太阳能制造业内的磁控溅射生产线中移动式回架车的专用供电装置,包括借助相互平行的两个导轨支撑回架车的台座,台座上有可将380v的工业用电降压至36v交流电的降压器,降压器分别和两个导轨电导通联接,回架车上有承载玻璃基片的移动框架及移动动力装置(至少包括四个可与两个导轨相适配的滚轮),回架车内有升压器、交流电机及相应的控制电路,回架车通过滚轮设置在两个导轨上,每个导轨上至少有两个滚轮,导轨和相应的滚轮电导通联接。这样,降压器、两导轨和相应的滚轮、控制电路、升压器、交流电机之间构成电流的完整回路。另,为达到自动控制回架车移动速度和移动距离的目的,台座上在导轨的两端分别设置减速和自停行程开关。当专用供电装置出现故障时,排查难度大,维护修理耗费高;另外,降压器、升压器的价格昂贵,使得费用增高、生产成本加大。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种维护方便、成本低的磁控溅射生产线中移动式回架车的专用供电装置。
为解决上述技术问题,本实用新型磁控溅射生产线中移动式回架车的专用供电装置,其结构为:它包括借助相互平行的两个导轨支撑回架车的台座,所述台座上在两个导轨之间处开有用来承载拖链的托槽,托槽与导轨的走向相一致,拖链活络地置于托槽内,拖链中贯穿有电缆,拖链的一端与回架车连接、另一端与台座固接,电缆的一端与回架车内的交流电机电连接、另一端与设置在台座上的交流供电电源连接。
本实用新型采用活络置于托槽内的拖链式结构,由贯穿于拖链中的电缆直接供电,省去了降压器、升压器及相应的控制电路,因此,本专用供电装置具有维护方便、成本低的优点。
所述托槽靠近交流供电电源的一侧设有可遮盖拖链的非移动段的罩板。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1的俯视图。
具体实施方式
以下结合附图并通过下面给出的实施方式可以进一步清楚地了解本实用新型。但它不是对本实用新型的限定。
参见图1、图2,本实用新型磁控溅射生产线中移动式回架车的专用供电装置,其结构为:它包括借助相互平行的两个导轨1支撑回架车2的台座8,所述台座8上在两个导轨1之间处开有用来承载拖链6的托槽7,托槽7与导轨1的走向相一致,拖链6活络地置于托槽7内,拖链6中贯穿有电缆3,拖链6的一端与回架车2连接、另一端与台座8固接,电缆3的一端与回架车2内的交流电机21电连接、另一端与设置在台座8上的交流供电电源5连接,且托槽7靠近交流供电电源5的一侧设有可遮盖拖链6的非移动段61的罩板4。罩板4的截面形状大体为倒置的U形。罩板4可对拖链6的非移动段61加以保护、限位。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的