[实用新型]超导组件制程装置整合设备

权利要求书

1.一种超导组件制程装置整合设备，其特征在于，包括：

一第一制程装置，其用于对一超导组件做测漏检测，该第一制程装置包括一第一真空泵、一第一真空阀及一第一感测组件，该第一真空泵及该第一真空阀连接该超导组件的一注料管，配合该第一感测组件对该超导组件做内部真空度测漏检测；

一第二制程装置，其用于对做完测漏检测的该超导组件做抽真空、除气及封口动作，该第二制程装置包括：

一第二真空泵，其连接该超导组件，并用于对该超导组件进行抽真空；

一第二真空阀，其连接该超导组件，并用于对该超导组件进行除气；

一第二感测组件，其与该第二真空阀和该第二真空泵连接，并用于检测该超导组件的真空度；

一位移机构，其能够带动该超导组件上下位移；以及

一封口装置，其能够横向位移，并将该注料管封口，以保持该超导组件内部的真空度；以及

一第三制程装置，用于对做完封口动作的该超导组件做剪断及焊接的动作，该第三制程装置具有一剪断装置及一焊接装置。

2.如权利要求1所述的超导组件制程装置整合设备，其特征在于，该第二制程装置包括一油压单元，提供该位移机构动力。

3.如权利要求1所述的超导组件制程装置整合设备，其特征在于，该第二制程装置包括一槽体，该槽体用于容置流体，该槽体具有一电热管及一电热单元，该电热管及该电热单元用于对该流体加热。

4.如权利要求1或3所述的超导组件制程装置整合设备，其特征在于，在除气动作时，该位移机构滑移至下死点，并带动该超导组件浸入该槽体的加热流体中。

5.如权利要求4所述的超导组件制程装置整合设备，其特征在于，该除气动作完成后，该位移机构滑移至上死点，进而带动该超导组件上移。

6.如权利要求1所述的超导组件制程装置整合设备，其特征在于，该封口装置受一压缸控制，驱动该封口装置做横向位移，进行封口动作。

7.如权利要求1所述的超导组件制程装置整合设备，其特征在于，该第三制程装置包括一第一夹持治具，该第一夹持治具受一第一气压缸控制，使其能够做角度旋转位移，进而进入该剪断装置的一气动剪的剪断路径，该气动剪受一第二气压缸控制。

8.如权利要求1所述的超导组件制程装置整合设备，其特征在于，该第三制程装置包括一第二夹持治具，该第二夹持治具受一第三气压缸控制，使其能够做角度旋转位移，进而进入该焊接装置的一焊枪的焊接路径，该焊枪受一旋转位移机构控制。

9.如权利要求1所述的超导组件制程装置整合设备，其特征在于，该焊接装置将该注料管焊接密封。

10.如权利要求1所述的超导组件制程装置整合设备，其特征在于，在该超导组件抽真空前，先进行注料，该注料由该注料管内注入工作流体，而该工作流体为纯水及超纯水。