[实用新型]电动引弧直接冷却式阴极电弧离子源

权利要求书

1.一种电动引弧直接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：包括引弧系统(22)、阴极座(15)、屏蔽盘(9)、法兰盘(20)、调节盘组件(17)、调节盘螺杆(18)；阴极座(15)与法兰盘(20)之间通过螺钉(23)连接，阴极座绝缘垫(12)位于阴极座(15)与螺钉(23)之间，阴极绝缘套(11)位于阴极座(15)与法兰盘(20)之间，套在阴极座(15)上；调节盘固定件(16)位于调节盘组件(17)与阴极座(15)之间，调节盘螺杆(18)一端与调节盘组件(17)相连，另一端位于阴极座(15)中；屏蔽盘支撑杆(8)位于法兰盘(20)与屏蔽盘(9)之间。

2.根据权利要求1所述的电动引弧直接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：所述引弧系统(22)由引弧丝(1)、引弧杆(2)、引弧杆外套(4)、引弧线圈外套(5)、线圈支架(6)、引弧线圈外套后盖(7)组成；引弧丝(1)与引弧杆(2)相连，引弧杆(2)位于引弧杆外套(4)内，引弧杆外套(4)通过螺钉(24)紧固在法兰盘(20)上，引弧杆外套绝缘垫(13)位于螺钉(24)与引弧杆外套(4)之间，引弧绝缘法兰(3)位于引弧杆外套(4)、引弧杆(2)与法兰盘(20)之间。

3.根据权利要求1所述的电动引弧直接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：屏蔽环(10)位于所述屏蔽盘(9)上。

4.根据权利要求1所述的电动引弧直接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：进水口(25)，出水口(26)位于所述阴极座(15)上，阴极座(15)内水道(27)位于靶材一侧有开口，密封圈(21)位于阴极座(15)上与靶材结合部位。

5.根据权利要求1所述的电动引弧直接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：磁钢(28)位于调节盘组件(17)中，盖板(29)位于磁钢(28)外面。

6.根据权利要求1所述的电动引弧直接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：法兰盘绝缘垫(14)位于法兰盘与真空炉体连接位置(30)处，法兰绝缘盘(19)位于法兰盘(20)与真空炉结合处。