[实用新型]二元布气管无效
| 申请号： | 200920135192.1 | 申请日： | 2009-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN201313933Y | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 徐日宏 | 申请（专利权）人： | 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518000广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 二元 气管 | ||
【权利要求书】：
1.一种二元布气管，包括磁控溅射阴极的进气管、控制进气管流量的阀门，其特征在于：所述磁控溅射阴极的进气管的末端部分和中间部分各自采用独立的进气管分别供气。
2、根据权利要求1所述的二元布气管，其特征在于，所述控制进气管流量的阀门为压电阀门。
3、根据权利要求1所述的二元布气管，其特征在于，所述磁控溅射阴极的进气管的中间部分的进气管分布为多层，各层分别进气。
4、根据权利要求3所述的二元布气管，其特征在于，所述磁控溅射阴极的进气管的中间部分的多层气管采取二元布局，即第一层分隔成21个独立空间，由21个进气管分别供气，第二层分隔成22个独立空间，由22个进气管分别供气，依次类推，至符合气体控制系统需要为止。
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