[实用新型]MEMS麦克风无效
申请号: | 200920132593.1 | 申请日: | 2009-06-05 |
公开(公告)号: | CN201491214U | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
发明(设计)人: | 王凯;刘明 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H04R1/08 | 分类号: | H04R1/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213167 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | mems 麦克风 | ||
1.一种MEMS麦克风,其包括:电路板、覆盖于电路板的具有收容腔的上盖和分别置于电路板上的换能器和控制电路,其中,上盖设有上表面和与上表面相对的下表面,其特征在于:所述上盖还设有自上盖的上表面向下表面延伸且未穿过下表面的第一入声孔、自上盖的下表面向上表面延伸但未穿过上表面的且与第一入声孔横向相隔一定距离的第二入声孔和设于上盖的上表面和下表面之间同时连接第一、第二入声孔的连接通道,所述MEMS麦克风还设有铺设于连接通道内的防水材料。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述上盖为三层结构,其包括第一层、第二层和夹在第一层和第二层间的中间层,所述第一入声孔贯穿该第一层,第二入声孔贯穿该第二层,连接通道设于中间层。
3.如权利要求1或2所述的MEMS麦克风,其特征在于:所述上盖设有底壁和自底壁延伸的侧壁,所述第一、第二入声孔和连接通道设于上盖的底壁上。
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