[实用新型]一种石英密封炉门

说明书

技术领域

本实用新型属于光电技术领域，具体涉及一种太阳能电池片掺杂生产过程中的高密封性闭管扩散炉用石英炉门。

背景技术

在太阳能电池片生产中，需要将P型衬底硅片表面通过高温扩散方式形成一薄层N型层，从而形成太阳能电池所必须的PN结。目前常用的工艺方式是高温(900℃)密闭N型杂质掺杂扩散。由于在高温反应过程中产生较多对人体及环境有害的副产物，为了避免副产物从反应室泄漏影响到人体健康及环境，需要设置石英炉门，现有的开口式扩散石英炉门与石英反应腔容易发生碰撞导致损坏。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种石英密封炉门。

本实用新型包括圆盖形的石英炉门本体，在石英炉门本体一侧的表面沿圆周开有燕尾槽，耐高温硅氟密封圈设置在燕尾槽内；石英炉门本体开有正方孔，SiC桨固定在正方孔上。圆柱形密封筒垂直固定在石英炉门本体另一侧的表面，圆柱形密封筒的端面与正方孔位置对应。

本实用新型结构简单，不仅密封可靠而且避免了碰撞损坏。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的平面结构示意图。

具体实施方式

如图1和2所示，一种石英密封炉门包括圆盖形的石英炉门本体1，在石英炉门本体1一侧的表面沿圆周开有燕尾槽，耐高温硅氟密封圈3设置在燕尾槽内；石英炉门本体1开有正方孔2，SiC桨固定在正方孔上。圆柱形密封4筒垂直固定在石英炉门本体1另一侧的表面，圆柱形密封筒的端面与正方孔位置对应。