[实用新型]行星研磨机有效
| 申请号： | 200920114902.2 | 申请日： | 2009-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN201361820Y | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 胡林宝 | 申请（专利权）人： | 胡林宝 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 杭州裕阳专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 应圣义 |
| 地址： | 324300浙江省开*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 行星 研磨机 | ||
【权利要求书】：
1、一种行星研磨机，包括传动机构、供液机构、研磨盘，以及带动研磨盘运动的内齿盘(107)和外齿盘(108)，所述研磨盘由设有若干个工装沉孔(1)、多个流液孔(8)的工装层(10)，以及设有轴向深度、径向均分研磨液嵌槽(4)的研磨层(11)构成；其特征是：所述工装层(10)和研磨层(11)分体，通过紧固件联接成整体，所述研磨层(11)由研磨液嵌槽层、实体层和凸筋网格层构成，实体层上设有与所述流液孔(8)相对应的通孔(7)，所述流液孔(8)经通孔(7)与研磨液嵌槽(4)相通，凸筋网格层的凸筋(2)上设有多个联接沉孔(9)。
2、如权利要求1所述的行星研磨机，其特征是：所述多个联接沉孔(9)呈对称性均布状。
3、如权利要求1所述的行星研磨机，其特征是：所述凸筋网格层的每根凸筋(2)的高度相一致，并处在一个平面上。
4、如权利要求1所述的行星研磨机，其特征是：所述实体层的厚度为4-8毫米。
5、如权利要求1或2所述的行星研磨机，其特征是：所述凸筋网格层中相邻直线状的凸筋(2)的夹角为90度。
6、如权利要求1或2所述的行星研磨机，其特征是：所述凸筋网格层中相邻直线状的凸筋(2)的夹角为60度或120度。
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