[实用新型]自检测硅微机械电容式麦克风

权利要求书

1、1、自检测硅微机械电容式麦克风，包括作为电容极板的敏感膜和金属铜底板、设有声波传入通道的硅基体；所述的敏感膜的周边通过绝缘层固定在所述的硅基体上，所述的敏感膜的底面朝向所述的声波传入通道；所述的底板上分布有通气孔，所述的底板通过连接座固定在所述的硅基体上，所述的底板位于所述的敏感膜的正上方，所述的底板和所述的敏感膜之间有空气隔层；所述的连接座与所述的硅基体之间为绝缘层；

其特征在于：所述的底板由第一支板、第二支板、第三支板拼接而成，所述的第一支板和所述的第二支板之间有第一间隙，所述的第二支板和第三支板之间有第二间隙；所述的支板分别通过连接支座固定在所述的硅基体上，所述的支板分别通过所述的连接支座与一引线端连接；所述的敏感膜上设有敏感膜引线端。

2、如权利要求1所述的自检测硅微机械电容式麦克风，其特征在于：所述的通气孔呈蜂窝状排列。

3、如权利要求2所述的自检测硅微机械电容式麦克风，其特征在于：所述的敏感膜为正方形，所述的金属铜底板的边长为所述的敏感膜的边长的80％。

4、如权利要求3所述的自检测硅微机械电容式麦克风，其特征在于：所述的敏感膜依次包括第一氮化硅层、参杂硼的多晶硅层，第二氮化硅层。

5、如权利要求4所述的自检测硅微机械电容式麦克风，其特征在于：所述的绝缘层为低应力氧化硅层。

6、如权利要求5所述的自检测硅微机械电容式麦克风，其特征在于：所述的硅基体上设有封装接点。