[实用新型]整体拆卸式观察窗及挡板机构有效
申请号: | 200920110199.8 | 申请日: | 2009-07-24 |
公开(公告)号: | CN201459235U | 公开(公告)日: | 2010-05-12 |
发明(设计)人: | 谢均荣;张永和;李辉 | 申请(专利权)人: | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52;C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 胡小永 |
地址: | 102600 北京市大兴工*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 整体 拆卸 观察窗 挡板 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及光学部件制造设备,尤其涉及一种光学镀膜设备中的整体拆卸式观察窗及挡板机构。
背景技术
在光学镀膜过程中,操作者需要用肉眼通过观察窗观察镀膜情况,以控制镀膜进程,保证镀膜质量。此外,操作者还可通过观察窗观察镀膜设备运转时真空室内有无异常情况,防止意外发生,提高安全性。
蒸发源蒸发出的膜料大部分向被镀工件方向移动,但仍有部分膜料附着于真空室内壁四周和观察窗玻璃内侧表面上。随着被附着的膜料量的增加,观察窗玻璃逐渐变模糊,甚至可能导致看不清真空室内的工作进展,从而影响镀膜过程。
现有的观察窗的结构示意图如图1所示,其包括依次从外侧排列至内侧的有机玻璃11、观察窗玻璃12、挡玻璃13,各玻璃由观察窗腔体内腔凹槽、卡环14、观察窗压盖15及各类螺钉共同作用固定,每个零件作为一个单独的个体进行装配。还利用矩形密封圈16起到将真空室与外接隔离密封的作用。
上述观察窗存在以下缺点:由于挡玻璃在最内侧,直接与真空室内环境接触,当镀膜工作进行时,由于蒸镀膜料被蒸发时会有部分附着于挡玻璃的表面,致使观察窗清晰度降低,当镀膜进行到一定程度时会影响观察,这时候需要而且只能在镀膜设备工作间隙更换挡玻璃,恢复观察窗的清晰度。而且又由于观察窗的每个零件都作为一个单独的个体进行装配,这使得为了更换挡玻璃而频繁拆卸、装配观察窗的复杂度和难度加大。此外,观察窗的反复拆卸和装配也使得保证密封性能的难度加大。上述问题将导致镀膜设备的整体工作效率降低,在设备工作时因观察窗玻璃被污染可能影响观察实际工作情况,且存在观察窗的玻璃变模糊阻碍观察而产生安全隐患的危险。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术不足之处,提供一种能够整体拆卸观察窗,减少更换观察窗玻璃的次数和时间的整体拆卸式观察窗及挡板机构。
本实用新型通过以下技术方案实现:一种整体拆卸式观察窗及挡板机构,包括观察窗机构及挡板机构,挡板机构包括位于观察窗机构最内侧的挡板、固定挡板的传动轴、安装于传动轴一端的手钮,挡板安装于传动轴的另一端。
其中,观察窗机构包括盖板,挡板机构固定于盖板上。
其中,盖板的内侧安装有第一密封圈。
其中,观察窗机构还包括观察窗盖、观察窗玻璃,有机玻璃和第二密封圈,所述观察窗盖安装于有机玻璃的一侧,第二密封圈安装于观察窗玻璃内侧。
其中,传动轴上从观察窗机构的外侧至内侧方向依次安装第一压盖、第一垫、油封以及第二垫。
其中,手钮可以通过螺钉固定于传动轴上。
其中,第一密封圈和第二密封圈均可以为矩形密封圈。
本实用新型的有益效果是:通过增加挡板机构,降低了对观察窗玻璃污染的速度,通过整体拆卸和安装观察窗及挡板机构,简化了拆卸和安装过程,而且不必打开真空室门即可更换观察窗玻璃,减少了更换观察窗玻璃的时间,从而提高了镀膜设备的整体生产效率。
附图说明
图1为现有技术的观察窗的结构示意图;
图2为本实用新型实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步的描述:
图2为本实用新型实施例的结构示意图。如图2所示,依照本实施例的整体拆卸式观察窗及挡板机构包括观察窗机构及挡板机构,挡板机构包括位于观察窗机构最内侧的挡板1、固定挡板1的传动轴2、安装于传动轴2一端的手钮3,挡板1安装于传动轴2的另一端,其连接方式可以为,例如,通过螺纹连接方式连接。
本实施例中,观察窗机构可以包括盖板4,挡板机构固定于盖板4上,其连接方式可以为,例如通过压紧螺母和盖板4上的螺纹将挡板机构固定于盖板4上。盖板4的内侧可以安装有第一密封圈19。
观察窗机构还可以包括观察窗盖5、观察窗玻璃6,有机玻璃7和密封圈8,观察窗盖5可以安装于有机玻璃7的一侧,第二密封圈8可以安装于观察窗玻璃6的内侧。其中,第一密封圈19和第二密封圈8可以为矩形密封圈,第一密封圈19与盖板的连接方式以及第二密封圈8与观察窗盖5的连接方式可以为,例如通过螺纹连接方式连接。
传动轴2上从观察窗机构的外侧至内侧方向可以(例如通过螺纹连接)依次安装第一压盖9、第一垫10、油封17以及第二垫18。
手钮3可以通过螺钉固定于传动轴2上。
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