[实用新型]扩散炉密封炉门机构

说明书

技术领域

本实用新型属于一种密封炉门机构，具体是用于硅片加工的扩散炉上，能灵活开闭，特别是能与移载硅片的推拉舟分开操作，可以实现全程很好的密封的炉门机构。

背景技术

用于硅片加工的扩散炉的炉门需要较好的密封，现在使用的扩散炉炉门大都是与移载硅片的推拉舟一体设置，在不进行工艺过程时，炉门只得敞开。这样，扩散炉大量散热，不仅浪费了能源，也增加了再加工时炉体加热的时间，降低了效率。因此，需要对现用炉门进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种扩散炉密封炉门机构。该炉门机构结构是与推拉舟分体设置，设计合理，较好地解决了上述技术问题。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：扩散炉密封炉门机构，设有石英炉门体，其特征在于：所述石英炉门体外侧固定设有一个连接杆，该连接杆上固定套有金属卡套，该金属卡套的里端套有压紧弹簧，该弹簧的外端的金属卡套上设有支撑托管，该托管通过支板与一个花键轴承的一端固定连接，花键轴承设有轴套，该轴套与一个旋转气缸进行旋转动力连接，花键轴的另一端与一个平移气缸进行平移动力连接。

本实用新型进一步完善和实施的补充方案是：

所述平移气缸设有散热风扇。

所述所述花键轴承及轴套的支座、旋转气缸、平移气缸固定在底座上。

本实用新型的炉门机构具有结构完善、操作灵活、密封性能好、节约能源、效率高的优点。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明：实施例：参见附图，扩散炉密封炉门机构，扩散炉密封炉门机构，设有石英炉门体9，所述石英炉门体外侧固定设有一个连接杆9.1，该连接杆上固定套有金属卡套9.2，该金属卡套的里端套有压紧弹簧8，该弹簧的外端，金属卡套上设有支撑托管9.3，该托管通过支板7与一个花键轴承1的一端固定连接，花键轴承设有轴套1.1，该轴套与一个旋转气缸2进行旋转动力连接，花键轴的另一端与一个平移气缸5进行平移动力连接。所述平移气缸设有散热风扇4。所述所述花键轴承及轴套的支座6、旋转气缸、平移气缸固定在底座3上。

本实用新型经试用效果非常好。