[实用新型]充油型扩散硅压阻式压力传感器无效
申请号: | 200920108481.2 | 申请日: | 2009-06-08 |
公开(公告)号: | CN201413213Y | 公开(公告)日: | 2010-02-24 |
发明(设计)人: | 季刚 | 申请(专利权)人: | 季刚 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18;G01L1/26 |
代理公司: | 北京金硕果知识产权代理事务所 | 代理人: | 张 玫 |
地址: | 100083北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 充油型 扩散 硅压阻式 压力传感器 | ||
【权利要求书】:
1、一种充油型扩散硅压阻式压力传感器,在内硅杯的四周设置电路板,该电路上设有惠斯通桥臂电路,其特征在于,增加了由二个电容或三个电容组成的抗杂波干扰电路。
2、根据权利要求1所述的充油型扩散硅压阻式压力传感器,其特征在于,增加了与扩散硅压力传感器的桥臂电阻温度特性相反的热敏电阻,并内置于外壳内,使传感器在恒压源供电的情况下,流经电桥的电流随温度变化近似于恒流。
3、根据权利要求1或2所述的充油型扩散硅压阻式压力传感器,其特征在于,所述热敏电阻设置在所述电路板上,并串联在桥臂电阻与恒压源之间。
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