[实用新型]用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置

权利要求书

1、一种用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，其特征在于，该装置至少包括过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)、温度压力控制装置(7)和分离器(10)，其中，过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)和分离器(10)依次连接，温度压力控制装置(7)连接于主工作腔室(5)，分离器(10)连接于过滤器(1)，分离器(10)与过滤器(1)构成循环回路。

2、根据权利要求1所述的用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，其特征在于，所述过滤器(1)通过第一阀门a连接于二氧化碳钢瓶。

3、根据权利要求1所述的用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，其特征在于，所述暂存罐(2)通过第二阀门b连接于恒流恒压泵(3)。

4、根据权利要求1所述的用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，其特征在于，所述主工作腔室(5)通过第三阀门c连接于分离器(10)。

5、根据权利要求1所述的用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，其特征在于，所述分离器(10)进一步连接于排出乙醇的第四阀门d。

6、根据权利要求1所述的用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，其特征在于，所述主工作腔室(5)进一步安装有放置芯片的硅片架(6)。

7、根据权利要求1所述的用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，其特征在于，所述温度压力控制装置(7)中进一步安装有监视主工作腔室(5)内温度和压力变化的温度传感器(8)和压力传感器(9)。