[实用新型]晶片清洗机无效
| 申请号： | 200920104872.7 | 申请日： | 2009-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN201357158Y | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 胡德良;周云青;薛毓虎;沈彪 | 申请（专利权）人： | 江阴市爱多光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/02 | 分类号： | B08B11/02;B08B3/10;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张春和 |
| 地址： | 214400江苏省江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片 清洗 | ||
【权利要求书】：
1、一种晶片清洗机，其特征在于，其包括：
一机架；
一清洗筒，是设置于机架上，其底缘设有下凸缘；
一盖体，其一侧缘借助转轴枢设于清洗筒上缘，内面设置有清洗部件；
一转盘，是安装于清洗筒内底部；
一马达，是设置于所述清洗筒的下方，该马达的上部设有上凸缘，借助该上凸缘利用螺丝与该清洗筒底缘的下凸缘固定一体，而马达的输出轴向上穿过设置于清洗筒底部的防水套后，该输出轴的轴端锁定在所述转盘底缘，启动马达，马达通过输出轴驱动转盘旋转；
数个定位体，是对称固定于前述转盘的表面，该数个定位体相向侧上缘形成有凸唇，凸唇与转盘之间构成嵌槽；
数个限位柱，是对称固定于转盘表面的边缘；
数个治具，是设置于转盘的表面上，该数个治具分别直接嵌置于相邻定位体间的相对应的嵌槽中，每个治具的中央设有供晶片载盘插置的插槽，顶面则形成有槽孔，侧面与底面分别设有侧流通孔与底流通孔，而端面下缘对应该定位体与转盘间构成的嵌槽设有嵌体。
2、如权利要求1所述的晶片清洗机，其特征在于，所述治具由一底座与一上盖拼组而成。
3、如权利要求1所述的晶片清洗机，其特征在于，所述盖体顶面设有掀把。
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