[实用新型]单晶炉零压报警装置无效

专利信息
申请号: 200920101828.0 申请日: 2009-03-10
公开(公告)号: CN201362756Y 公开(公告)日: 2009-12-16
发明(设计)人: 张在存;鲁立宁;董朝海 申请(专利权)人: 宁晋松宫电子材料有限公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20;C30B35/00
代理公司: 石家庄科诚专利事务所 代理人: 王文庆
地址: 055550河*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉零压 报警装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种报警装置,尤其是一种单晶炉零压报警装置。

背景技术

目前在单晶硅设备领域里,CZ80及以前的晶体生长设备,因为在单晶生产需要有一个持续的加热的过程,在生产时为了保证硅是液态,炉内就要稳定在1400℃左右的高温。如果停止加热在十分钟硅就会凝固,而固态的硅比液态的硅体积大百分之十,很快将石英坩埚胀坏,使其不能再继续生产,造成损失。所以能够在在最短的时间内发现加热停了就显得尤为重要。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的不足,本实用新型提供了一种能够及时感知加热电压并在该电压为零时即可报警的单晶炉零压报警装置。

为实现上述目的,本实用新型的单晶炉零压报警装置,包括延时继电器及与延时继电器信号输出端相连的报警器,其特征在于:该装置还包括电压信号采样模块、降压电阻、稳压管及控制控制继电器,所述的电压信号采样模块与单晶炉加热电压表并联,其信号输出端经降压电阻、与降压电阻信号输出端的稳压管与控制继电器的信号输入端相连,控制继电器的信号输出端与延时继电器的信号输入端相连。

此外,在延时继电器与供电电源之间连接有复位开关。

采用上述技术方案,能够将原来生产过程中,由于相偏引起无加热故障不报警的现象克服。在第一时间让操作者得知加热停止,并使操作者可以在第一时间处理和修复好设备,保证生产降低损失,避免晚发现而造成的单晶拉方、结晶提断,闷炉。

附图说明

下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作更进一步详细说明:

图1是本实用新型的整体结构示意图;

具体实施方式

由图1所示可知,本实用新型的单晶炉零压报警装置,包括延时继电器1及与延时继电器1信号输出端相连的报警器2,电压信号采样模块3、降压电阻4、稳压管5及控制继电器6,所述的电压信号采样模块3与单晶炉加热电压表并联,其信号输出端经降压电阻4、与降压电阻4信号输出端的稳压管5与控制继电器6的信号输入端相连,控制继电器6的信号输出端与延时继电器1的信号输入端相连。在延时继电器1与供电电源7之间连接有复位开关8。

使用时,装置的电信号是与加热电压表并联得到电信号,经过降压电阻4分压后,在经过稳压管5稳压得到相对稳定电压送到控制继电器6,继电器6线圈通电后吸合,使继电器6常闭端断开,延时继电器1常开端继续保持断开,报警器2也就不会得到电流不报警。相反如果加热停止就没有了电流送到控制继电器6,继电器6停止吸合,控制继电器6常闭端接通使延时继电器1通电,在经过相应延时后吸合,延时继电器1的常开端闭合,使报警器2通电报警。可以先按下复位开关8,暂时停止报警,待加热恢复正常后报警真正停止。

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