[实用新型]一种等离子体化学气相沉积设备的电池挂片箱有效
| 申请号： | 200920094711.4 | 申请日： | 2009-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN201593063U | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 杨继泽;刘万学;张兵;王巍;王德宏;左腾;徐柏章;曲爽 | 申请（专利权）人： | 吉林庆达新能源电力股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513;H01L31/18 |
| 代理公司： | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人： | 石岱 |
| 地址： | 136001 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 化学 沉积 设备 电池 挂片箱 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子体化学气相沉积设备的电池挂片箱，其特征在于：该电池挂片箱包括挂片箱主体(1)、固定卡头(2)，所述的多个固定卡头(2)被均布设置在挂片箱主体(1)的上面，并且被平行分布成上下两排。
2.根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积设备的电池挂片箱，其特征在于：所述的固定卡头(2)包括被镶嵌在其内部的压缩弹簧(3)和钢珠(4)，其中上排的钢珠(4)朝下设置，下排的钢珠(4)朝上设置。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
