[实用新型]一种磁控溅射设备的电池挂片箱有效
| 申请号: | 200920094603.7 | 申请日: | 2009-10-29 |
| 公开(公告)号: | CN201530857U | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
| 发明(设计)人: | 杨继泽;刘万学;张兵;王巍;王德宏;左腾;徐柏章;曲爽 | 申请(专利权)人: | 吉林庆达新能源电力股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;H01L31/20;H01L31/18;H01J37/20;H01J37/34 |
| 代理公司: | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人: | 石岱 |
| 地址: | 136001 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 磁控溅射 设备 电池 挂片箱 | ||
【权利要求书】:
1.一种磁控溅射设备的电池挂片箱,其特征在于:该电池挂片箱包括挂片箱主体(1)、固定卡头(2),所述的挂片箱主体(1)带有一凹陷的电池片固定卡槽(3),在固定卡槽(3)的上端和下端均布设置有多个固定卡头(2)。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备的电池挂片箱,其特征在于:所述的固定卡头(2)被镶嵌在挂片箱主体(1)的上面,它是由压缩弹簧(4)和钢珠(5)构成。
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