[实用新型]电子枪发射体

说明书

技术领域

本实用新型属于光学镀膜设备电子枪零部件技术领域，特别涉及一种电子枪发射体。

背景技术

电子枪由于发射功率大，输出束流稳定，电子束流熔点高，能够轻易地融化高熔点的金属材料，蒸发过程中膜料表面平整，蒸发分布均匀，所以广泛应用于真空镀膜行业。

电子枪发射体是电子枪的核心部件，目前的电子枪发射体由左、右阴极、高压电极2个、灯丝、灯丝压块2个，灯丝定位块2个、栅极、加速极、阳极、底座、顶板、绝缘固定板和4个绝缘柱等18个结构件组成。基本工作原理是电子枪发射体上装有灯丝，由灯丝变压器提供一个大的灯丝电流使灯丝发热后并辐射出大量热电子形成电子束。同时灯丝加有-4KV～-10KV电压，使灯丝产生的电子束对坩埚具有-4KV～-10KV的电势，从而使得电子束具有很大的动能。枪体提供一个均匀磁场，使电子束发生270度偏转，在枪体磁场的作用下电子束聚焦、做定向运动打入坩埚内使膜料在真空室内融化升华，实现真空镀膜的功能。

现在的电子枪发射体结构件较多且复杂，关键结构件之间位置精度不宜保证，在枪体受热后位置容易变动，致使电子枪在使用中容易发生打火现象，影响镀膜时膜料蒸发的均匀性。

实用新型内容

本实用新型提供一种结构简单、低成本、定位精度与装配精度高的的电子枪发射体。

一种电子枪发射体，包括固定绝缘板，所述固定绝缘板上设置顶板、阳极、左阴极、右阴极、灯丝、加速极、栅极，所述顶板下方设置所述阳极，所述阳极下方设置所述加速极，所述加速极下方设置灯丝和栅极，所述栅极设置在灯丝两侧，所述灯丝下方设置灯丝压块，灯丝压块下方设置左阴极和右阴极。

本实用新型左、右阴极上端固定灯丝为电子束的发射体。灯丝上端固定有栅极，限制电子束发射面。栅极前端装有加速极为电子束提供加速电压。阳极提供的是阳极电压，与加速极连接在一起，并且与大地相连，这样就形成了阳极与栅极之间具有-4KV——10KV加速电场。固定绝缘板用来使阴极与阳极连接成一体，起到绝缘电压的作用，顶板是用来防止发射体免受污染。由上述几个结构件组成了电子枪发射体，降低制造成本。二是装配简单易于操作，三是保证了关键部件的定位精度及装配精度，使电子枪发射体在使用中稳定可靠。

附图说明

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明：

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型结构侧面结构示意图；。

具体实施方式

如图1、图2所示，一种电子枪发射体，包括固定绝缘板9，所述固定绝缘板9上设置顶板8、阳极7、左阴极1、右阴极2、灯丝4、加速极6、栅极5，所述顶板8下方设置所述阳极7，所述阳极7下方设置所述加速极6，所述加速极6下方设置灯丝4和栅极5，所述栅极5设置在灯丝4两侧，所述灯丝4下方设置灯丝压块3，灯丝压块3下方设置左阴极1和右阴极2。

左阴极与右阴极之间是完全绝缘的，左阴极顶端与栅极用螺钉固定连接，栅极的右端与右阴极的顶端覆盖的三个面间隔距离为0.5mm，本设计加长了左阴极与栅极的连接尺寸，采用过渡配合方式，使栅极固定位置准确稳定，并拆卸安装方便。避免了人工装配时位置固定不准确，栅极前后摆动现象，使发射体在高温工作中栅极位置不会产生偏移，保证了栅极与右阴极顶端的三面间隔距离尺寸，从而避免发生短路现象，使电子枪发射体运行稳定可靠，

基本工作原理是电子枪发射体上装有灯丝，由灯丝变压器提供一个大的灯丝电流使灯丝发热后并辐射出大量热电子形成电子束。同时灯丝加有-4KV～-10KV电压，使灯丝产生的电子束对坩埚具有-4KV～-10KV的电势，从而使得电子束具有很大的动能。枪体提供一个均匀磁场，使电子束发生270度偏转，在枪体磁场的作用下电子束聚焦、做定向运动打入坩埚内使膜料在真空室内融化升华，实现真空镀膜的功能。

本实用新型左、右阴极上端固定灯丝为电子束的发射体。灯丝上端固定有栅极，限制电子束发射面。栅极前端装有加速极为电子束提供加速电压。阳极提供的是阳极电压，与加速极连接在一起，并且与大地相连，这样就形成了阳极与栅极之间具有-4KV——10KV加速电场。固定绝缘板用来使阴极与阳极连接成一体，起到绝缘电压的作用，顶板是用来防止发射体免受污染。由上述几个结构件组成了电子枪发射体，降低制造成本。二是装配简单易于操作，三是保证了关键部件的定位精度及装配精度，使电子枪发射体在使用中稳定可靠。