[实用新型]可变光衰减器有效

专利信息
申请号: 200920077784.2 申请日: 2009-07-02
公开(公告)号: CN201464670U 公开(公告)日: 2010-05-12
发明(设计)人: 陈宗林 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G02B6/26 分类号: G02B6/26;G02B26/08
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 可变 衰减器
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种可变光衰减器,尤其涉及一种横向位移型可变光衰减器。

背景技术

光衰减器是一种重要的光无源器件,在光传输过程中其可按用户需求对光功率进行衰减。可用在系统的评估、研究、调整和校正等方面。随着光模块如激光器、光刻机等在现代大型设备中的应用,光衰减器的市场需求增长越来越快。

光衰减器分为固定光衰减器和可变光衰减器两类。一般可变光衰减器是使高功率的光信号通过部分透光的滤光片,或采用衰减片来阻挡部分光信号,或改变输入光纤与输出光纤之间的相对位置,或通过部分光吸收装置逐渐减弱光信号的强度,从而达成光信号衰减程度可调的目的。

美国专利4,591,23于1986年5月27日公开了一种可变光衰减器,通过旋转装有多个不同衰减量的衰减片的衰减圆盘获得多个不同的衰减量。但是,该可变光衰减器为步进式可变光衰减器,其可变衰减范围较小,且会受到内部反射和折射的影响,因此导致信号噪音过高,从而影响该衰减器的性能。

美国专利4,989,938于1991年2月5日公开了另一种可变光衰减器,通过移动光吸收密度沿长度方向呈梯度变化的滤光片来实现光的可变衰减。但是,该可变光衰减器中的滤光片的设计和制造难度较高,滤光片价格昂贵,因此该可变光衰减器成本较高。

中国专利CN01258531.9于2002年11月27日公开了又一种可变光衰减器,请参阅图1,该可变光衰减器包括第一组棱镜、第二组棱镜和一遮挡板,其中该第一组棱镜包括第一棱镜111和第二棱镜112;第二组棱镜包括第三棱镜113和第四棱镜114。其中,第一棱镜111和第二棱镜112具有两个不平行的相对面1102、1103,第三棱镜113和第四棱镜114也具有两个不平行的相对面,并且该四个棱镜顺序排列在通过该光衰减器的光束光路中,遮挡板116放置在第二棱镜112与第三棱镜113之间,其可阻挡入射在其表面的光通过。通过调节该遮挡板116的位置可实现光功率的可变衰减。由于棱镜的扩束作用,从准直器13输出的平行光束131经过第一、第二棱镜111、112之后,会形成扩大的光束133,故利用遮挡板116遮挡该扩大后的光束133较遮挡直接由准直器13输出的平行光束131的精度有了一定的提高。但是,该可变光衰减器使用了四块棱镜,其结构比较复杂,装调有一定难度,成本也较高。

实用新型内容

有鉴于此,本实用新型所要解决的技术问题是提供一种可变衰减范围大、结构简单、精度高、成本低的可变光衰减器。

为解决上述技术问题,本实用新型采用了如下技术方案:

一种可变光衰减器,包括一耦合输入装置、一耦合输出装置和一置于所述耦合输入装置与耦合输出装置之间的衰减装置,所述衰减装置包括具有第一反射面的第一光学元件和具有第二反射面的第二光学元件,所述第二光学元件能够在与耦合输入装置输出的光束平行的方向上平移;从耦合输入装置输出的光束依次经第一反射面和第二反射面反射后,经由所述耦合输出装置输出.

所述第一光学元件和第二光学元件分别是第一棱镜和第二棱镜。

所述第一棱镜还包括分别与所述第一反射面邻接的第一入射面和第一出射面;所述第二棱镜还包括分别与所述第二反射面邻接的第二入射面和第二出射面;从耦合输入装置输出的光束从第一入射面入射到第一棱镜内部,经第一反射面反射后,从第一出射面射出,并经由第二入射面入射至第二棱镜内部,再经第二反射面反射后,从第二出射面射出,并进入所述耦合输出装置。

所述第一入射面与第一反射面之间的夹角、第一出射面与第一反射面之间的夹角、第二入射面与第二反射面之间的夹角、第二出射面与第二反射面之间的夹角均相等。

所述夹角均大于45度而小于90度。

所述第一入射面和第二出射面均与所述耦合输入装置输出的光束相垂直;第一出射面与第二入射面相平行。

所述第一棱镜固定在一底板上,所述底板上开有与耦合输出装置输入光束方向平行的凹槽,所述第二棱镜设置在凹槽中,并能够沿凹槽移动。

所述第二棱镜的底部设有与所述凹槽匹配的滑块,通过所述滑块沿凹槽移动。

所述滑块高度比凹槽深度大。

所述第二棱镜的入射面上镀有增透膜。所述第一棱镜的入射面上镀有增透膜。通过增设的增透膜来避免光束反射返回光路中,从而提高回波损耗。

所述第一光学元件和第二光学元件均是镀膜的反射镜。

与现有技术相比,本实用新型具有如下优点和积极效果:

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