[实用新型]探针卡保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路测试领域，特别涉及一种探针卡保护装置。

背景技术

探针卡是半导体集成电路领域的重要器件，用于晶圆封装前的功能测试。通过测试挑选出不合格产品，避免不良产品进入后续工艺造成浪费，因而探针卡的性能对集成电路制造过程中的成本有很大影响。

探针卡是一种制作成本高、易受损的精密器材。典型的探针卡是一个带有很多探针的印刷电路板，通过探针与待测器件进行物理和电学的接触。在实际的生产使用中，探针很容易损坏。为减少这一风险，在探针卡不使用时，通常会在探针卡上增加一个塑料的保护盖对探针进行保护。现有技术通常是以粘贴胶带的方式将保护盖直接粘贴在探针卡上，而不同的胶带，不同的粘贴方式，不同的操作者，就导致在使用时有太多的不确定因素，无法准确地进行管控。若粘贴得太牢，取下时就要费较大的力，则很有可能擦挂到探针；若粘贴得较松，则保护盖在运输、搬运中容易脱落，从而导致保护失效等。

同时，粘贴胶带在使用一定次数后由于粘附力的下降就必须更换，并且对于探针卡这类精密器材，所选用的胶带也非一般材质的胶带，同时还需要其他辅助材料，随着胶带使用量的增大，相关的成本也成比例增加。因而现有的探针卡保护技术不但存在很多不可控制因素影响保护效果且成本较高。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种探针卡保护装置，以解决在实际的生产使用中，探针卡上的探针易损坏的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种探针卡保护装置，包括用于扣住探针卡上所有探针的探针保护盖，所述探针保护盖上安装有卡扣，所述探针卡上对应于所述卡扣的位置设有卡扣基座，通过所述卡扣和卡扣基座的连接将所述探针保护盖固定于探针卡上。

可选的，所述卡扣基座通过粘合材料固定于所述探针卡上。

可选的，所述粘合材料为泡沫胶。

可选的，所述卡扣通过螺母固定于所述探针保护盖上。

可选的，所述卡扣基座的高度小于所述探针的长度。

可选的，所述卡扣为两个或两个以上，所述探针卡上固定的卡扣基座与所述卡扣的数量相等。

可选的，所述探针保护盖上的卡扣为两个，安装于所述探针保护盖的对角位置。

本实用新型提供的探针卡保护装置采用卡扣将探针保护盖固定于探针卡上，固定了保护区域，并避开了套管、焊点，大大降低了因增加保护盖而对探针卡所产生的影响，规范了保护盖的装取操作，减少了人为差异，增强了可控性，同时可根据使用的情况调节卡扣的松紧度，提高了保护装置的使用周期。该探针卡保护装置制作方式简单，易维修，大大降低了探针卡的保护成本且可重复使用，选用的材料不会影响到正常生产，如果报废，可回收，无污染。

附图说明

图1为本实用新型的安装了卡扣基座的探针卡俯视示意图；

图2为本实用新型的安装了卡扣的探针卡保护盖俯视示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

本实用新型所述的探针卡保护装置可广泛应用于半导体集成电路的测试领域，并且可以利用多种替换方式实现，下面是通过较佳的实施例来加以说明，当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑地涵盖在本实用新型的保护范围内。

其次，本实用新型利用示意图进行了详细描述，在详述本实用新型实施例时，为了便于说明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。

请参阅图1及图2，图1为本实用新型的安装了卡扣基座的探针卡俯视示意图，图2为本实用新型的安装了卡扣的探针卡保护盖俯视示意图。