[实用新型]单晶抛光硅片背损伤装置移动托架

权利要求书

1、一种单晶抛光硅片背损伤装置移动托架，包括托架主体，其特征在于，所述的托架主体周边设置有托架固定部件，且该托架主体中部设置有均匀分布且相互连接的数个托架支撑部，所述的相邻的托架支撑部之间形成有镂空的托架孔，所述的托架支撑部和托架孔共同组成与硅片外形相对应的下凹区域。

2、根据权利要求1所述的单晶抛光硅片背损伤装置移动托架，其特征在于，所述的托架支撑部为至少二个均匀分布的同心圆弧筋条和连接各个同心圆弧的径向筋条。

3、根据权利要求1所述的单晶抛光硅片背损伤装置移动托架，其特征在于，所述的托架支撑部为至少二个均匀分布的矩形、正方形、菱形、三角形或者多边形，所述的各个矩形、正方形、菱形、三角形或者多边形之间通过顶点或者边相连接。

4、根据权利要求1所述的单晶抛光硅片背损伤装置移动托架，其特征在于，所述的托架主体由至少二个托架主体子片组合而成。

5、根据权利要求4所述的单晶抛光硅片背损伤装置移动托架，其特征在于，所述的各个托架主体子片的形状彼此对称。

6、根据权利要求5所述的单晶抛光硅片背损伤装置移动托架，其特征在于，所述的托架主体子片的数量为二个、四个、六个或者八个。

7、根据权利要求1至6中任一项所述的单晶抛光硅片背损伤装置移动托架，其特征在于，所述的托架固定部件为均匀分布于托架主体周边的托架固定孔。

8、根据权利要求1至6中任一项所述的单晶抛光硅片背损伤装置移动托架，其特征在于，所述的托架主体上还设置有硅片定位部件。

9、根据权利要求8所述的单晶抛光硅片背损伤装置移动托架，其特征在于，所述的硅片定位部件为均匀设置于托架主体上的硅片定位柱。