[实用新型]坩埚升降机构无效
| 申请号: | 200920070823.6 | 申请日: | 2009-04-21 |
| 公开(公告)号: | CN201402043Y | 公开(公告)日: | 2010-02-10 |
| 发明(设计)人: | 吴智洪;徐永亮;贺贤汉 | 申请(专利权)人: | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10 |
| 代理公司: | 上海天翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈学雯 |
| 地址: | 200444上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 坩埚 升降 机构 | ||
1、一种坩埚升降机构,包括机架、坩埚转轴、磁流体和磁流体安装座,其特征在于,
所述机架设置为门型结构;所述机架设置线性导轨,所述线性导轨之间设置筒型的磁流体安装座,所述磁流体安装座内设置磁流体,所述磁流体安装座与滚珠丝杆连接;
所述滚珠丝杆一端与机架连接,所述滚珠丝杆另一端与减速器连接;
所述减速器通过进行切换的电磁离合器与慢速升降电机连接,所述减速器也与快速升降电机连接。
2、根据权利要求1所述的坩埚升降机构,其特征在于:所述机架为采用矩形管与钢板混合焊接而成的门型结构。
3、根据权利要求1所述的坩埚升降机构,其特征在于:所述滚珠丝杆设置带动磁流体安装座上下运动的螺母,所述磁流体安装座安装在滚珠丝杆的螺母上。
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