[实用新型]坩埚升降机构无效

专利信息
申请号: 200920070823.6 申请日: 2009-04-21
公开(公告)号: CN201402043Y 公开(公告)日: 2010-02-10
发明(设计)人: 吴智洪;徐永亮;贺贤汉 申请(专利权)人: 上海汉虹精密机械有限公司
主分类号: F27B14/10 分类号: F27B14/10
代理公司: 上海天翔知识产权代理有限公司 代理人: 陈学雯
地址: 200444上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 坩埚 升降 机构
【权利要求书】:

1、一种坩埚升降机构,包括机架、坩埚转轴、磁流体和磁流体安装座,其特征在于,

所述机架设置为门型结构;所述机架设置线性导轨,所述线性导轨之间设置筒型的磁流体安装座,所述磁流体安装座内设置磁流体,所述磁流体安装座与滚珠丝杆连接;

所述滚珠丝杆一端与机架连接,所述滚珠丝杆另一端与减速器连接;

所述减速器通过进行切换的电磁离合器与慢速升降电机连接,所述减速器也与快速升降电机连接。

2、根据权利要求1所述的坩埚升降机构,其特征在于:所述机架为采用矩形管与钢板混合焊接而成的门型结构。

3、根据权利要求1所述的坩埚升降机构,其特征在于:所述滚珠丝杆设置带动磁流体安装座上下运动的螺母,所述磁流体安装座安装在滚珠丝杆的螺母上。

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