[实用新型]小型柱面镜多光栅光谱分析仪无效
| 申请号: | 200920069286.3 | 申请日: | 2009-03-24 |
| 公开(公告)号: | CN201464039U | 公开(公告)日: | 2010-05-12 |
| 发明(设计)人: | 陈剑科 | 申请(专利权)人: | 上海谱纳光电仪器有限公司 |
| 主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/18 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 200444 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 小型 柱面 光栅 光谱分析 | ||
1.一种小型柱面镜多光栅光谱分析仪,其特征在于,主要结构由狭缝S1、平面镜M1、球面反射镜M2、组合光栅Gx、柱面反射镜Mx3、探测器Dx组成,Gx由多块光栅组成,Mx3为柱面反射光学镜,Dx为面阵探测器,光栅固定,各子光栅面的法线方向按相应的各子光谱区连接的顺序作组合式排列。
2.根据权利要求1所述的小型柱面镜多光栅光谱成像仪,其特征在于:组合光栅Gx的子光栅数为n由总的光谱区λ和子波长区的宽度Δλn,即:n=λ/Δλn。
3.根据权利要求1所述的小型柱面镜多光栅光谱成像仪,其特征在于:焦距为f1的柱面反射镜Mx3,与n个子光栅对应。
4.根据权利要求1所述的小型柱面镜多光栅光谱成像仪,其特征在于:面阵探测器Dx像元平面位于M1的焦点上。
5.根据权利要求1所述的小型柱面镜多光栅光谱成像仪,其特征在于:光源与组合光栅Gx之间设置有宽度为20微米的狭缝S1,供光源射入,中间还设有平面镜M1和球面反射镜M2,使光源经S1、M1到M2,M2出射光为平行光。
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