[实用新型]全息凹面光栅曝光衍射效率实时监测系统无效
| 申请号： | 200920068533.8 | 申请日： | 2009-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN201364396Y | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 皮道锐;黄元申;张大伟;夏俊;倪争技;夏纪朝;庄松林 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00;G01J3/18 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 全息 凹面 光栅 曝光 衍射 效率 实时 监测 系统 | ||
【权利要求书】：
1、一种全息凹面光栅曝光衍射效率实时监测系统，包括He-Ne激光器、凸透镜、带串口连接的光功率计、计算机、He-Cd激光，其特征在于，在一个由He-Cd激光作为全息凹面光栅光源的曝光光路中，将He-Ne激光监测光源，凸透镜，全息凹面光栅中心放置在一条直线上，且平行于水平面，带串口连接的光功率计接收监测光源He-Ne激光经凸透镜扩束后在全息凹面光栅衍射聚焦后的负一级衍射光的光强，并将光强信号送入计算机处理，得出衍射效率的变化曲线。
2、根据权利要求1所述的全息凹面光栅曝光衍射效率实时监测系统，其特征在于，所述监测光源He-Ne激光发出的平面光波与全息凹面光栅中心轴所成θ角度在零度与二十度之间，且与水平面平行。
3、根据权利要求1所述的全息凹面光栅曝光衍射效率实时监测系统，其特征在于，所述监测光源He-Ne激光经凸透镜扩束后的球面光波覆盖全息凹面光栅曝光面且仅覆盖全息凹面光栅曝光面。
4、根据权利要求1所述的全息凹面光栅曝光衍射效率实时监测系统，其特征在于，所述监测光源He-Ne激光垂直入射到凸透镜上。
5、根据权利要求1所述的全息凹面光栅曝光衍射效率实时监测系统，其特征在于，带串口连接的光功率计的接收面放置在全息凹面光栅负一级衍射聚焦点上。
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