[实用新型]一种柔性基材金属化薄膜电阻的在线测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种在生产柔性基材金属化薄膜过程中，对金属化薄膜的电阻进行在线测量的装置。

背景技术

在柔性基材金属化薄膜的各项性能参数中，薄膜电阻是最重要最直接的参数之一。它不仅可以反映薄膜的厚度，而且与薄膜的光学等其它性能密切相关。因此，成膜过程中，通过在线连续测量薄膜电阻，从而控制金属化薄膜的成膜条件，使所成薄膜的表面电阻在设定水平上均匀一致，由此还可以控制薄膜的其它性能，提高产品质量和合格率。

现有在线测量金属化薄膜电阻的技术中，有一种方法是将金属化薄膜夹在2个金属辊之间，测量金属辊之间的表面电阻。但是，这种方法仅能测量长度方向的表面电阻，对幅宽方向的表面电阻却无能为力。

此外，还有一种方法是，通过外加磁场，测量金属化薄膜内感生的电流涡流，从而计算出薄膜的表面电阻。然而，这种方法在测量表面电阻较大(大于10Ω/□)的金属化薄膜时，需要施加极高的磁场强度；此外，在线连续测量时，由于塑料基材的抖动，使传感器部与金属化薄膜间的距离发生变化，造成耦合电感不能稳定，测量误差较大。

还有，作为对上述技术进行的改进，在测量金属化薄膜内感生涡流的同时，测量金属化薄膜的温度以及金属化薄膜与传感器之间的距离，然后计算出薄膜电阻。但是，进行这种测量的装置很复杂，价格昂贵；其次，该方法需要对每一种待测样品进行距离和温度校正，测量极不方便；再次，由于温度传感器与金属化薄膜非接触，距离约几毫米，使测量温度和金属化薄膜的实际温度有一定误差，从而给计算结果带来误差。

实用新型内容

本实用新型的目的是，针对现有技术存在的不足，提出一种柔性基材金属化薄膜电阻的在线测量装置，它可在线准确测出柔性基材金属化薄膜的电阻，用以根据金属化薄膜电阻的变化，调节镀膜工艺参数，从而提高产品质量和合格率。

本实用新型的技术方案是，所述柔性基材金属化薄膜电阻的在线测量装置包括测量辊，所述测量辊有两端分别经轴承装在支座上的辊轴，由固定安装在该辊轴上的绝缘内衬和套装在该绝缘内衬外周的橡胶圈组成辊体，其结构特点是，所述辊体一端固定安装有随动接线圆盘，该随动接线圆盘上沿径向设有至少一组电刷且每组电刷由两个电刷组成；所述随动接线圆盘外侧对应设有固定安装在支座上的固定接线圆盘且该固定接线圆盘内侧端面设有至少一组铜环且每组铜环由两只铜环组成，一组铜环中的两只铜环分别同对应一组电刷中的两个电刷对应相接触；所述辊体上装有至少一组测量铜环且每组测量铜环由两只测量铜环组成，其中每只测量铜环分别经装在辊体中的屏蔽导线同对应一组电刷中的一只对应电刷连接；而固定接线圆盘上每组铜环的两只铜环经相应屏蔽馈线及真空陶瓷封装凸缘、信号线同电阻检测仪连接；所述测量铜环的外径不小于所述橡胶圈的外径。

以下对本实用新型做出进一步说明。

参见图1和图2，本实用新型所述柔性基材金属化薄膜电阻的在线测量装置包括测量辊27，所述测量辊27有两端分别经轴承17装在支座16上的辊轴20，由固定安装在该辊轴20上的绝缘内衬5和套装在该绝缘内衬5外周的橡胶圈4组成辊体，其结构特点是，所述辊体一端固定安装有随动接线圆盘8，该随动接线圆盘8上沿径向设有至少一组电刷且每组电刷由两个电刷9组成；所述随动接线圆盘8外侧对应设有固定安装在支座16上的固定接线圆盘15且该固定接线圆盘15内侧端面设有至少一组铜环且每组铜环由两只铜10环组成，一组铜环中的两只铜环10分别同对应一组电刷中的两个电刷9对应相接触；所述辊体上装有至少一组测量铜环且每组测量铜环由两只测量铜环3组成，其中每只测量铜环3分别经装在辊体中的屏蔽导线6同对应一组电刷中的一只对应电刷9连接；而固定接线圆盘15上每组铜环的两只铜环10经相应屏蔽馈线11及真空陶瓷封装凸缘12、信号线13同电阻检测仪14连接；所述测量铜环3的外径不小于所述橡胶圈4的外径。

为了使所述测量铜环3的外周表面有优良的接触导电性，可在所述测量铜环3的外周表面镀一层金。

实际应用时，可将测量机构设计为图1所示的组成，即在测量辊27的两侧对称地设置两个导向辊23、25，同时相应配置两个可以通过导向辊精确控制基材张力的张力控制器24、26；待测的金属化薄膜带28在运行中同测量辊27保持一定的接触面；测量辊27运转时，随动接线圆盘8随该测量辊同轴转动；一组测量铜环的两只测量铜环3之间的金属化薄膜带28的电阻则被由该两只测量铜环3及相应电刷、电刷铜环、电阻检测仪组成的检测回路测量出来。

由以上可知，本实用新型为一种柔性基材金属化薄膜电阻的在线测量装置，它可在线准确测出柔性基材金属化薄膜的电阻，且结构简单、性能可靠。