[实用新型]一种真空阀门

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空设备，特别是一种用于镀膜真空室上的真空阀门。

技术背景

在真空装置上使用的阀门，不仅要密封性能好，紧密，不“内漏”，还要使用方便，转换灵活，因为在工作过程中阀门得承受内、外气压压强差，所经受的总压力是相当大的。目前，使用的多是气缸一阀盖式或称挡板式的阀门，即由气缸的活塞带动阀盖，盖住或打开阀口、即通气通道。例如，专利号ZL200620062404.4“双通高真空阀门装置”(公告号CN200940713Y)所公开的阀门，由工作室、阀体、气缸组成，在阀体上装有气缸、阀体内的阀盖通过支杆，而连接上气缸的活塞，由活塞带动阀盖移动。从而与阀体接触并密封，形成一个密封环境。对于镀膜真空室而言，由于工件玻璃较大，进入真空室所经的入口，其尺寸也必然要较大。现通常采用一种翻板阀来控制密封此入口。现有的翻板阀，通过气缸直接带动较长的转轴，直接转动一块长条形的翻板门，由翻板门整个地封盖住真空室的玻璃板的出入口。这就有可能出现密封力度不够、或两端密封不平衡的问题，从而影响其密封性能。

发明内容

本实用新型的目的在于避免上述现有技术的不足之处，而提供一种传动稳定，密封紧贴，使用方便的，在镀膜真空室上使用的真空翻板阀门。

本实用新型的目的可通过如下的措施来达到：

一种真空阀门，是安装在真空室上的翻板阀门，包括有相互连接的气缸，转轴，连杆和翻板门，由翻板门盖上并密封住真空室上的工件入口，其特征在于，所述的气缸是一台安置在真空室外面的气缸，该气缸的活塞杆与一根齿条连接，该齿条与一个齿轮啮合；在一根转轴上面，固定连接有一个上述的齿轮，在该根转轴的两头，还分别连结有各一根主动转臂，上述两根主动转臂，通过各自的连杆的连结，而连结到各自的一根从动转臂上面；该两根从动转臂，均分别连接在一个矩形的翻板门的背面上，翻板门的底面是与真空室的外壁吻合的，并盖住其上的工件入口；在翻板门与外壁之间的密封面上设有一个密封圈。

在上述方案的基础上，所述的气缸是两台安置在真空室外面的气缸，该两台气缸的活塞杆各自与一根齿条连接，该两根齿条各自与一个齿轮啮合；在一根转轴的两头，分别固定连接有上述的各一个齿轮，在该根转轴上面，还分别连结有4根均匀分布的主动转臂，上述的4根主动转臂，通过各自的一根连杆的连结，而连结到各自的一根从动转臂上面；该4根从动转臂，均分别连接在一个矩形的翻板门的背面上。

上述的齿轮与转轴的固定连接，是由一个或两个齿轮的中心传动轴，被支承在轴承座里，而连接到一个或两个万向联轴器，再连接到所述的转轴上。

在上述的两根或4根从动转臂与翻板门的连接部位之间，各自安装有一块调整条块。

上述的各根主动转臂和从动转臂，均以一端安装在固定在真空室上的固定座上面。

上述的通过连杆连结主动转臂与从动转臂，是由穿过两根或4根主动转臂的销钉，与穿过两根或4根从动转臂的销钉来连结的；而各根从动转臂的另一端，则以销钉而连结在一个固定座上。

本实用新型的真空阀门，具有如下优点：

1.传动稳定，密封性能好。气缸的传动轴，经过一系列的力传递，特别是通过主、从动转臂的有效而且具有弹性的传递，使关上翻板门的扭矩力，平衡地落到翻板门的两头，再加上每块调整条块的设置，使得翻板门又稳定又准确地盖住长条形的工件入口；密封面的受压状况良好，密封性能优越，密封圈的设置进一步保证阀门的密封性。

2.适用于对真空室上较长条形的进出口的密封。本实用新型真空阀门，使用一块较长条形的矩形的翻板门，正适合对大块玻璃进出口密封的需要。在真空室入口特别宽阔的情况下，采用两边各一个气缸共同带动一根转轴，转轴上设置4套主、从动转臂结构，使传动更为有力和更为平稳、稳定。

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的非限定性的叙述。

附图说明

图1是本实用新型真空阀门的主视结构示意图；

图2是本实用新型真空阀门的侧视(部分)结构示意图；

图3是本实用新型真空阀门的侧向剖视(部分)结构示意图；

图4是该真空阀门的转臂传动部分的主视结构示意图；

图5是该真空阀门的转臂传动部分的俯视结构示意图；

图6是本实用新型真空阀门的另一个实施例的结构示意图；

图7是一种初级技术的真空翻板阀门的正面纵剖视参考图；

图8是一种初级技术的真空翻板阀门的侧向剖视参考图；