[实用新型]硅片套料工作头

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种切割工具，尤其是涉及一种带有超声振子的硅片套料工作头。

背景技术

在硅片制造过程中，需要将硅片套料成圆形硅片，现有技术中，常常使用盘形金刚石切割工作头在切割机上对硅片进行切割，由切割工作头作旋转及进给运动，实现对硅片的套料切割，这种套料切割硅片的方式切割速度较慢，工作效率较低，从而也相应地提高了硅片的加工成本。

实用新型内容

本申请人针对上述的问题，进行了研究改进，提供一种硅片套料工作头，提高切割速度，从而提高工作效率，也相应地降低硅片的加工成本。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下的技术方案：

一种硅片套料工作头，包括工作刀头及刀柄，所述工作刀头及刀柄之间装置有超声振子，电刷装置于套装在超声振子外的电刷套中，电刷的一端与超声振子接触，另一端与弹性构件相抵；电刷通过导线连接超声电源。

本实用新型的技术效果在于：

本实用新型公开的一种硅片套料工作头，在普通的硅片套料工作头中加入了超声振子，在旋转及进给切割硅片的同时，由于超声振子的高频振动，加快切割速度，提高工作效率，相应地降低硅片的加工成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

如图1所示，本实用新型包括工作刀头1及刀柄4，工作刀头1及刀柄4之间装置有超声振子5，电刷套6套装在超声振子5外，电刷套6与超声振子5之间留有间隙。电刷3装置的电刷套5中，电刷3的一端与超声振子5接触，电刷3的另一端与弹簧2相抵，电刷3通过导线连接超声电源(未在图中画出)。

在使用时，刀柄4装入切割机和输出轴8中，电刷套6通过螺钉7固定安装在轴套9上，打开切割机电源及超声电源，即可开始对硅片进行套料切割，在旋转及进给切割硅片的同时，由于超声振子的高频振动，使切割速度得到提高。