[实用新型]一种透明导电膜玻璃无效
申请号: | 200920041124.9 | 申请日: | 2009-04-07 |
公开(公告)号: | CN201378594Y | 公开(公告)日: | 2010-01-06 |
发明(设计)人: | 孙岳明;宋铂;王育乔;吴小娟;蒋银花;奚俊婷 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | H01L31/02 | 分类号: | H01L31/02;H01L31/0224;H01L23/48;H01L23/15 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人: | 李纪昌 |
地址: | 21009*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 透明 导电 玻璃 | ||
一、技术领域
本发明属于导电玻璃工艺技术领域,特别涉及一种透明导电膜玻璃的改进。
二、背景技术
透明导电膜玻璃是一种透光导电膜玻璃,主要包括金属氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料,具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等共同光电特性,广泛地应用于太阳能电池、平面显示、特殊功能窗口涂层及其他光电器件领域,但是一般氧化物薄膜平均方阻较大,在大面积的导电玻璃应用器件中,随着电子传输距离的增加,电阻越大,损耗越严重,大大降低了器件的工作效率,
三、发明内容
技术问题:
本发明的目的在于针对现有透明导电膜玻璃的不足,提供一种既可以降低电阻、减少电子损耗、使电子定向移动,同时又具有可靠行、稳定性的导电玻璃。
技术方案:本发明的技术解决方案为:
一种透明导电膜玻璃,包括底板玻璃和透明导电膜,所述底板玻璃和透明导电膜之间设有低电阻栅,透明导电膜将低电阻栅与外界环境隔绝。
其中,上述低电阻栅为网状、线状或回旋状形貌。
有益效果:
本发明公开了一种透明导电膜玻璃,包括底板玻璃和透明导电膜,在底板玻璃和透明导电膜之间设有低电阻栅,透明导电膜将低电阻栅与外界环境隔绝。在本发明中,低电阻栅的加入,在大面积器件中可降低两点间的电阻:由于作为透明导电膜的氧化膜大部分是半导体,其一般电阻较高,所以导电玻璃方阻较大,随着玻璃面积的加大,大面积器件两点间的电阻随着距离的加大而加大,但如果在两点间预埋低电阻栅以后,这一现象立即消失,两点间的阻值一般只略大于同等长度低电阻栅的阻值,而远小于未布低电阻栅两点间的电阻。低电阻栅的引入虽然大大降低了电阻,收集了电子,并实现了电子的定向运动,但是低电阻电阻栅本身受外界环境影响较大,易腐蚀,易氧化,影响了器件的可靠性、稳定性,而本发明在低电阻栅上覆盖一层致密的透明导电膜恰好克服了这一缺陷:透明导电膜将与低电阻电栅环境隔绝,从而保护了低电阻电栅不受环境影响,保证了器件的稳定性和可靠性。
在本发明中,低电阻栅印刷成网状、线状或回旋状形貌。网状形貌的低电阻栅满足串并联要求,可组成任意串并联复杂电路;线状形貌的低电阻栅满足不同器件连接要求、使电阻显著下降;回旋状形貌的低电阻栅满足多器件连接要求、达到组合器件的效果。
四、附图说明
图1是本发明透明导电膜玻璃的结构示意图;
图2是未刷低电阻栅的透明导电膜玻璃与实施例1中的已刷低电阻栅的透明导电膜玻璃的电阻效果比较图;
图3是未刷低电阻栅的透明导电膜玻璃与实施例2中的已刷低电阻栅的透明导电膜玻璃的电阻效果比较图;
图4是未刷低电阻栅的透明导电膜玻璃与实施例3中的已刷低电阻栅的透明导电膜玻璃的电阻效果比较图;
图5是未刷低电阻栅的透明导电膜玻璃与实施例4中的已刷低电阻栅的透明导电膜玻璃的电阻效果比较图;
图6是未刷低电阻栅的透明导电膜玻璃与实施例5中的已刷低电阻栅的透明导电膜玻璃的电阻效果比较图;
五、具体实施方式
以下实施例为本发明的一些举例,不应被看做是对本发明的限定。
实施例1:
一种透明导电膜玻璃,包括底板玻璃和透明导电膜,底板玻璃和透明导电膜之间设有低电阻栅,透明导电膜将低电阻栅与外界环境隔绝。
其中,底板玻璃:采用普通光学玻璃。
低电阻栅:以中温铝浆为材料,采用丝网印刷法,一次印刷于底板玻璃的上表面,低电阻栅印刷成网状形貌。印刷方法为:采用JG6080丝网印刷机,300目丝网,印刷后在450℃下烧结半小时,制成低电阻栅,所制得的低电阻栅线宽为0.5mm。
透明导电膜:为In2O3和SnO2复合材料,In2O3和SnO2质量配比为1∶1,采用磁控溅射法铺设于低电阻栅上表面。制备方法:采用将高纯度的氧化铟和氧化锡粉末,按质量比1∶1混合好,再采用粉末工艺烧结成固体靶材(抽测靶体密度99.5%),采用国产JGC-4OSY型500W磁控溅射镀膜机。射频溅射镀膜工艺参数如下:本底真空度小于1X 10-3Pa,溅射功率为100W,基片温度为300℃,靶材到已布低电阻电栅底板玻璃的距离是8cm,溅射,再用高浓度KOH异丙醇溶液清洗。
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