[实用新型]酸洗板无效
| 申请号： | 200920035903.8 | 申请日： | 2009-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN201359997Y | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 储琏 | 申请（专利权）人： | 泰州银河寰宇半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/306;H01L21/329 |
| 代理公司： | 常州市天龙专利事务所有限公司 | 代理人： | 赵燕棣 |
| 地址： | 225300江苏省泰兴市高港*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 酸洗 | ||
1、一种酸洗板，包括基板(1)，其特征在于：还包括压条(2)，基板(1)上设有若干条凹槽(3)，凹槽(3)之间具有分隔板(4)，基板(1)上还设有横穿凹槽(3)的压条槽(5)，压条(2)与压条槽(5)装连。
2、根据权利要求1所述的酸洗板，其特征在于：所述基板(1)的上平面(1-1)具有凹台(6)，所述凹槽(3)排列在基板(1)上平面(1-1)的凹台(6)处，且凹槽(3)两端延伸出凹台(6)。
3、根据权利要求2所述的酸洗板，其特征在于：所述凹槽(3)两端延伸部分底面与基板(1)的上平面(1-1)之间斜面过渡或圆弧面过渡。
4、根据权利要求1所述的酸洗板，其特征在于：所述基板(1)的上平面(1-1)具有一个压条槽(5)，压条槽(5)位于凹槽(3)一端，且压条槽(5)垂直横穿过凹槽(3)。
5、根据权利要求3所述的酸洗板，其特征在于：所述凹槽(3)靠近压条槽(5)一端为进料端，另一端其底面与基板(1)的上平面(1-1)斜面过渡或圆弧面过渡处，凹槽(3)的宽度小于凹槽(3)其它部位宽度。
6、根据权利要求1所述的酸洗板，其特征在于：所述分隔板(4)的横截面为T型截面或是倒锥形截面。
7、根据权利要求1或6所述的酸洗板，其特征在于：所述分隔板(4)的顶面(4-1)低于基板(1)的平面(1-1)。
8、根据权利要求1所述的酸洗板，其特征在于：所述的基板(1)其底面(1-2)具有支腿(7)，支腿(7)与基板(1)装连。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
