[实用新型]气浮立柱式圆柱度测量仪无效
| 申请号: | 200920032942.2 | 申请日: | 2009-05-05 | 
| 公开(公告)号: | CN201407996Y | 公开(公告)日: | 2010-02-17 | 
| 发明(设计)人: | 戴桂秋 | 申请(专利权)人: | 西安威而信精密仪器有限公司 | 
| 主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 | 
| 代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王少文 | 
| 地址: | 710075陕西省西安市高*** | 国省代码: | 陕西;61 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 立柱 圆柱 测量仪 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种圆柱度测量仪,尤其涉及一种采用气浮立柱的圆柱度测量仪。
背景技术
在圆柱度测量仪中,为了保证测量结果准确可靠,对测量立柱提出了较高要求,其主要参数为z轴导轨移动直线度和z轴导轨与回转轴线的平行度。现有技术由于测量工具间的自身部件运动所产生摩擦力会带来运动不平稳的问题,直接导致了圆柱度测量仪在进行测量时所要求的精度和可靠性得不到保证,难以达到测量精度要求。
实用新型内容
本实用新型目的是提供一种气浮立柱式圆柱度测量仪,其克服现有圆柱度测量仪在进行测量时所要求的精度和可靠性得不到保证的技术问题。
本实用新型的技术解决方案为:
一种气浮立柱式圆柱度测量仪,包括放置在大理石台面上的立柱框架、设置在立柱框架内的立柱组件、可沿着立柱组件上下运动的传感器导轨、设置在传感器导轨上的光栅传感器,
其特殊之处在于:
上述立柱组件包括空心柱状大理石立柱、设置在大理石立柱下端面的大理石下靠座、设置在大理石立柱上端面的大理石上靠座,
上述立柱框架和大理石下靠座之间设置有下钢珠,所述立柱框架通过下钢珠支撑大理石下靠座,所述立柱框架和大理石上靠座之间设置有上钢珠,所述立柱框架上端面设置有可压紧上钢珠的钢珠螺杆,所述立柱框架通过钢珠螺杆压紧上钢珠的方式固定大理石上靠座,所述大理石上靠座的前侧面设置有前调整安装座,所述前调整安装座上设置有可调整大理石上靠座与立柱框架之间相互距离的前调整组件,所述大理石上靠座的后侧面与立柱框架之间设置有前调整板簧,所述大理石上靠座的左侧面上设置有可调整大理石上靠座与立柱框架之间相互距离的侧调整组件,所述大理石上靠座的右侧面与立柱框架之间设置有侧调整板簧,
上述传感器导轨为设置在大理石立柱外侧的气浮导轨组件,其在丝杠的带动下可沿着大理石立柱外侧上下运动。
本实用新型的优点为:
1、测量精度高。本实用新型中气浮导轨组件在随着丝杆沿立柱上下运动时所产生的气膜可消除金属摩擦,保证了运动的高精度、运动的高平稳性以及高可靠性。本实用新型的调整结果可保证z轴导轨移动直线度达到0.35um/100mm。
2、调节精度高。本实用新型通过采用钢珠支撑立柱组件,再由前调整组件和侧调整组件来调整立柱的中心轴,可保证z轴导轨与被测产品回转轴线的平行度达到1.54um/300mm。
3、结构简单。本实用新型采用气浮导轨组件,达到预期效果的同时结构非常简单。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
附图标记如下:1-立柱框架,2-下靠座,3-下钢珠,4-立柱组件,5-气浮导轨组件,6-丝杆,7-前调整安装座,8-上靠座,9-前调整组件,10-侧调整组件,11-侧调整板簧,12-上钢珠,13-钢珠螺杆,14-前调整板簧,15-顶盖,16-立柱。
具体实施方式
参见图1,本实用新型中,立柱框架1底座与大理石工作台面接触,立柱框架1内部安装立柱组件4。立柱组件4包括大理石立柱16、大理石下靠座2和大理石上靠座8。立柱组件4的下靠座2和下钢珠3使立柱组件4与立柱框架1底座相接触,立柱组件4的上靠座8通过上钢珠12与钢珠螺杆13相连,设置在立柱组件4的上靠座8和立柱框架1之间的前调整安装座7、前调整组件9、前调整板簧14以及侧调整组件10、侧调整板簧11将立柱组件4固定竖立在立柱框架1内。在立柱16上安装有气浮导轨组件5,使立柱16与气浮导轨组件5间形成气膜,当气浮导轨组件5随着丝杆6沿立柱16上下运动时,气膜的存在可消除金属摩擦,保证了运动的高精度、运动的高平稳性以及高可靠性,保证了z轴导轨移动的直线度。
在本实用新型中,前调整安装座7上的前调整组件9是通过前调整板簧14的弹性力来固定立柱组件,由于立柱框架1的底座是通过下钢珠3对立柱组件4进行点接触支撑的,从而当调节前调整组件9和立柱框架1之间的相对距离时,立柱组件4将以下钢珠3为支撑点在前后方向进行倾斜调节;同样,侧调整组件10是通过侧调整板簧11的弹性力来固定立柱组件,从而当调节侧调整组件10和立柱框架1之间的相对距离时,立柱组件4将以下钢珠3为支撑点在左右方向进行倾斜调节,最终保证立柱中心轴线(即z轴气浮导轨)与被测产品回转轴线的平行度。
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