[实用新型]石墨载板清洗装置无效
申请号: | 200920013613.3 | 申请日: | 2009-05-07 |
公开(公告)号: | CN201394556Y | 公开(公告)日: | 2010-02-03 |
发明(设计)人: | 杨亚明;夏铁 | 申请(专利权)人: | 锦州华昌光伏科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;B08B3/00 |
代理公司: | 锦州辽西专利事务所 | 代理人: | 李 辉 |
地址: | 121000辽宁省锦州*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 清洗 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及在太阳能电池生产过程中使用的一种辅助清洗设备,特别涉及一种石墨载板清洗装置。
背景技术
目前,太阳能电池生产工艺一般包括清洗制绒、扩散、刻蚀、去磷硅玻璃、镀膜、印刷电极、烧结和测试分选工序,其中在镀膜工序中硅片是装在石墨载板上再放在镀膜设备上进行镀膜加工,长时间的镀膜加工后石墨载板上会有较多的氮化硅沉积到上面,如不及时清洗石墨载板,便会影响硅片表面的镀膜效果,甚至污染硅片,影响最终的产品质量。
发明内容
本实用新型的目的是要提供一种结构简单、占用空间小的石墨载板清洗装置,该装置能够对石墨载板进行彻底清洗,去除石墨载板表面的氮化硅膜,使石墨载板保持洁净,从而提高产品质量。
本实用新型是这样实现的:它有一个箱体,其特殊之处是:在箱体内由前至后设有水洗槽和酸洗槽,在水洗槽和酸洗槽内两侧分别设有多个斜插槽,在箱体后部设有通风道,在箱体一侧设有进水管,进水管分别与水洗槽和酸洗槽相通,在水洗槽和酸洗槽底面分别设有排水管。
上述的石墨载板清洗装置,所述的通风道是由设在箱体后部的隔离板与箱体后部围成,在隔离板上部设有多个吸风孔,在箱体顶面对应通风道中部设有吸风口。
本实用新型的优点是:能够对石墨载板进行彻底清洗,去除石墨载板表面的氮化硅膜,使石墨载板保持洁净,从而提高产品质量;且结构简单、占用空间小,制造成本低。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1的A-A剖视图;
图3是图1的B-B剖视图。
图中:箱体1,隔离板2,吸风孔3,吸风口4,进水阀5,进水管6,支脚7,排水管8,排水阀9,进水口10,通风道11,酸洗槽12,水洗槽13,斜插槽14,隔板架15,排水口16,三通17。
具体实施方式
如图所示,本实用新型有一个箱体1,箱体1前上部为敞口,用于清洗操作。在箱体1内下部通过隔板架15设有水洗槽13和酸洗槽12,水洗槽13和酸洗槽12前后布置,在水洗槽13和酸洗槽12内两侧分别设有多个斜插槽14,所述的斜插槽14是由倾斜固定在箱体1两侧内壁的多个平行板条形成,在箱体1后部沿竖直方向设有通风道11,所述的通风道11是由设在箱体1后部的隔离板2与箱体1后部围成,在隔离板2上部设有多个吸风孔3,在箱体1顶面对应通风道11中部设有吸风口4,以便于吸走清洗时产生的酸雾。在箱体1一侧设有进水管6,在水洗槽13和酸洗槽12的上部分别设有进水口10,所述的进水管6通过三通17和水管与进水口10连通,在进水管6上安装有进水阀5;在水洗槽13和酸洗槽12底面分别通过排水口16连接有排水管8,在排水管8上安装有排水阀9。在箱体1底面四角处固设有支脚7。
工作时,通过进水管6向水洗槽13和酸洗槽12中注入适量水,再按比例向酸洗槽12中加入酸液,然后将需要清洗的石墨载板插入酸洗槽12内的斜插槽14中进行浸泡,直至把石墨载板表面的氮化硅膜除掉以后,再将石墨载板取出、放入水洗槽13内的斜插槽14中浸泡,浸泡一段时间后即可将石墨载板取出备用。
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