[实用新型]简易型蒸发器有效
| 申请号: | 200920011046.8 | 申请日: | 2009-02-27 |
| 公开(公告)号: | CN201386134Y | 公开(公告)日: | 2010-01-20 |
| 发明(设计)人: | 郭方准 | 申请(专利权)人: | 大连齐维科技发展有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
| 代理公司: | 大连科技专利代理有限责任公司 | 代理人: | 于忠晶 |
| 地址: | 116023辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 简易 蒸发器 | ||
1、简易型蒸发器,其特征是:回转导入器导入棒真空端固定安装遮板,遮板位于坩埚上方,坩埚上缠绕有加热丝,加热丝接通电极。
2、根据权利要求1所述的简易型蒸发器,其特征是:导入棒真空端固定安装遮板支架,遮板支架上固定装有遮板。
3、根据权利要求1或2所述的简易型蒸发器,其特征是:回转导入器为超高真空旋转导入器,外管内装有波纹管、驱动杆和导入棒,驱动杆和导入棒均由轴心线平行的自转轴和绕转轴一体构成,波纹管一端焊接在可动法兰上,另一端焊接在真空设备连接法兰上,真空设备连接法兰固定装有外管一端,且中心孔内通过轴承安装导入棒自转轴,外管另一端通过轴承安装驱动杆自转轴,导入棒自转轴与驱动杆自转轴同轴心,可动法兰两端均带有套体,两端套体内分别通过轴承安装驱动杆绕转轴和导入棒绕转轴,驱动杆绕转轴与导入棒绕转轴同轴心。
4、根据权利要求3所述的简易型蒸发器,其特征是:真空设备连接法兰由法兰板、轴套和外筒连接套一体构成,轴套一端连接法兰板,另一端连接外筒连接套,外筒连接套通过固定法兰与外管固定连接。
5、根据权利要求3所述的简易型蒸发器,其特征是:驱动杆自转轴端头固定安装把手,把手上装有定位螺钉。
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