[实用新型]停电报警装置、UPS供电装置和硅片加工设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，特别涉及一种停电报警装置、UPS供电装置和硅片加工设备。

背景技术

目前，随着集成电路、太阳能电池等产业的迅速发展，对硅片等半导体晶片的需求量也越来越大。硅片的制造和加工位于产业链的前端，因此，供应满足产能需求的高质量的硅片，是集成电路、太阳能电池等产业的良性发展的基础。

硅片的切割加工通常采用线切割技术，即，利用线锯的钢线将硅片按照需要进行切割。为了避免停电对线锯正常运行的影响，线锯这类硅片切割设备都设有不间断电源(Uninterruptiable Power Supply，UPS)，在市电停电时，UPS自动启动，转入由UPS的电池组为硅片切割设备供电。

然而问题在于，UPS的电池组仅能提供线锯5～10分钟的用电量，如果设备操作人员不知道停电，那么在电池组的电量耗尽后将突然断电，在这种情况下，线锯突然停止运行，导致切割硅片的钢线发生断线，造成生产的停滞，即使重新焊好钢线，恢复供电时线锯重新开机，因原来的钢线留有焊点，该焊点将引起切割过程中对硅片的损伤，从而降低硅片等级。

实用新型内容

本实用新型的解决的问题是提供一种停电报警装置，能够防止当市电停电而转由UPS供电后，UPS的电量耗尽导致切割钢线断线故障的发生，进而避免因焊接断线的焊点而降低硅片等级。

本实用新型的解决的另一问题是提供一种UPS供电装置，能够防止因UPS的电池组电量耗尽而突然停电所导致的故障。

本实用新型的解决的又一问题是提供一种硅片加工设备，能够提醒操作人员安全、及时停止设备运行，以防止突然断电引起的故障发生。

为解决上述问题，本实用新型提供一种停电报警装置，包括：控制器和报警器；其中，

所述控制器的输入端分别连接市电的输出端和UPS的输出端；

所述报警器的输入端连接所述控制器的输出端。

所述控制器包括：第一开关部件，第二开关部件，接触器；其中，

市电的输出端经所述第一开关部件接入所述接触器的电磁线圈；

UPS的输出端经所述第二开关部件接入所述接触器的常闭触点的一端，所述接触器的常闭触点的另一端连接所述报警器的输入端。

所述第一开关部件和/或所述第二开关部件为DZ47D5型空开。

所述接触器为CJX2型接触器。

所述报警器为声光报警器。

所述控制器和报警器之间的连接采用屏蔽信号线。

相应的，本实用新型还提供一种UPS供电装置，包括上述任一停电报警装置。

相应的，本实用新型还提供一种硅片加工设备，包括上述任一停电报警装置。

与现有技术相比，上述技术方案具有以下优点：

所述的停电报警装置在市电停电而转由UPS供电后，通过控制器检测到停电状态，由报警器提醒操作人员按照正常操作规程使硅片切割设备安全的停机，从而能够防止UPS的电量耗尽导致切割钢线断线故障的发生，进而避免因焊接断线的焊点而降低硅片等级。

另外，所述的停电报警装置结构简单，使用的材料少而使成本较低，能同时提供声、光两种报警信息，可靠性更好。

所述UPS供电装置在市电停电时，能够发出报警信号，提醒操作人员采取必要的措施，防止因UPS的电池组电量耗尽而突然停电所导致的故障。

所述硅片加工设备当市电停电时，UPS转入由电池组供电，所述停电报警装置发出报警信息，提醒操作人员安全、及时停止设备运行，以防止突然断电引起的故障发生。

附图说明

通过附图所示，本实用新型的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。

图1为本实用新型的实施例中停电报警装置的示意图；

图2为本实用新型的实施例中停电报警装置的电路结构图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

其次，本实用新型结合示意图进行详细描述，在详述本实用新型的实施例时，为便于说明，表示装置结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。