[发明专利]微型液体冷却装置

权利要求书

1.一种微型液体冷却装置，其特征在于：包括一基板、一环管及若干电极组，该环管设于该基板上，环管的首尾相连并于环管内形成一封闭的回路，该回路中填充有工作液体，这些电极组设于基板上并沿环管的延伸方向呈间隔设置，每一电极组包括一第一电极与一第二电极，该第一电极与第二电极呈相对设置并将环管的管体夹设于该第一电极与第二电极之间，环管的内壁设有一疏水层，第一电极与环管的外壁之间及第二电极与环管的外壁之间分别设有一介电层。

2.如权利要求1所述的微型液体冷却装置，其特征在于：还包括一控制电路，每一电极组的第一电极及第二电极与该控制电路电连接，通过控制电路规律性地对这些电极组施加电压，驱动该工作流体在该环管内循环流动。

3.如权利要求1所述的微型液体冷却装置，其特征在于：该环管上设有至少一储液部。

4.如权利要求3所述的微型液体冷却装置，其特征在于：该储液部呈球形。

5.如权利要求1所述的微型液体冷却装置，其特征在于：该基板上设有一环槽，该环管收容于该环槽内。

6.如权利要求1所述的微型液体冷却装置，其特征在于：该环管为采用湿蚀刻的方法自基板生长形成。

7.如权利要求1所述的微型液体冷却装置，其特征在于：该环管围成一矩形。

8.如权利要求1所述的微型液体冷却装置，其特征在于：该环管具有一吸热段及与该吸热段相对的一放热段。

9.如权利要求1所述的微型液体冷却装置，其特征在于：这些电极组采用蚀刻的方法自基板生长形成。