[发明专利]多晶硅生产中冷却回水的热能回收利用方法

权利要求书

1.多晶硅生产中冷却回水的热能回收利用方法，其特征在于：包括如下步骤：

a、热能转移：采用冷却回水对溴化锂稀溶液进行浓缩；

b、热能释放：用水喷淋浓缩后的溴化锂溶液，用放出的热量加热水得到138～145℃的过热水；

c、制备高温饱和蒸汽：将过热水加入闪蒸装置中，使其瞬间气化为128～132℃的饱和蒸汽。

2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中冷却回水的热能回收利用方法，其特征在于：a步骤所述的冷却回水温度为105～115℃。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅生产中冷却回水的热能回收利用方法，其特征在于：a步骤所述的溴化锂稀溶液的质量浓度为20～40％；b步骤所述的浓缩后的溴化锂溶液的质量浓度为60～70％。

4.根据权利要求3所述的多晶硅生产中冷却回水的热能回收利用方法，其特征在于：b步骤用水喷淋浓缩后的溴化锂溶液至溴化锂溶液质量浓度为20～40％。

5.根据权利要求1或2所述的多晶硅生产中冷却回水的热能回收利用方法，其特征在于：c步骤所得饱和蒸汽用作热源加热氯硅烷，得到氯硅烷气体和冷凝水，冷凝水返回b步骤利用浓缩后的溴化锂溶液稀释放热被加热为138～145℃的过热水，循环使用。

6.根据权利要求3所述的多晶硅生产中冷却回水的热能回收利用方法，其特征在于：c步骤所得饱和蒸汽用作热源加热氯硅烷，得到氯硅烷气体和冷凝水，冷凝水返回b步骤利用浓缩后的溴化锂溶液稀释放热被加热为138～145℃的过热水，循环使用。

7.根据权利要求4所述的多晶硅生产中冷却回水的热能回收利用方法，其特征在于：c步骤所得饱和蒸汽用作热源加热氯硅烷，得到氯硅烷气体和冷凝水，冷凝水返回b步骤利用浓缩后的溴化锂溶液稀释放热被加热为138～145℃的过热水，循环使用。