[发明专利]一种适合高频的高温度稳定性声表面波滤波器无效
| 申请号： | 200910311425.3 | 申请日： | 2009-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN101820266A | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 李红浪 | 申请（专利权）人： | 义乌市华凯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 322006 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适合 高频 温度 稳定性 表面波 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种适合高频的高温度稳定性声表面波滤波器，包括压电基片、制作在压电基片表面的输入叉指换能器和输出叉指换能器，以及覆盖在压电基片、输入叉指换能器和输出叉指换能器上的波导层，其特征在于，所述压电基片材料为适合高频、正温度稳定性的四硼酸锂，波导层材料为与压电基片温度互补的材料。
2.根据权利要求1所述的一种适合高频的高温度稳定性声表面波滤波器，其特征在于，所述压电基片材料四硼酸锂的切向是(0、47.3、90)。
3.根据权利要求1所述的一种适合高频的高温度稳定性声表面波滤波器，其特征在于，所述波导层材料为既有高压电耦合系数又具有负温度系数的ZnO。
4.根据权利要求3所述的一种适合高频的高温度稳定性声表面波滤波器，其特征在于，ZnO膜的厚度除以换能器的周期长度称为相对膜厚，其厚度为0.05~0.5微米。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种适合高频的高温度稳定性声表面波滤波器，其特征在于，叉指换能器电极材料为铝、金、铜或铜铝合金。
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