[发明专利]偏振元件及其制作方法

权利要求书

1.一种偏振元件的制作方法，包括下列步骤：

提供一支撑板；

涂布一光阻于所述支撑板上；

提供一碳纳米管膜于所述光阻上，部份的所述碳纳米管膜浸润于所述光阻中；

沉积金属粒子或半金属粒子于所述碳纳米管膜与所述光阻上；

去除所述光阻；以及

黏接所述附着有所述金属粒子或所述半金属粒子的所述碳纳米管膜于一基底形成所述偏振元件。

2.如权利要求1所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，所述碳纳米管膜包括多个碳纳米管，所述碳纳米管的端部沿一方向相互连接。

3.如权利要求2所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，所述碳纳米管实质上排列形成多个相互平行的碳纳米管丝，相邻的所述碳纳米管丝之间是由多个碳纳米管连接。

4.如权利要求3所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，于所述去除光阻步骤之后，更包括：去除连接所述碳纳米管丝的所述碳纳米管。

5.如权利要求4所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，所述碳纳米管是使用激光或刀具去除。

6.如权利要求3所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，所述碳纳米管丝实质上等间距排列。

7.如权利要求1所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，黏接所述附着有所述金属粒子或所述半金属粒子的所述碳纳米管膜于所述基底的步骤包括：

涂布一紫外光固化胶于所述碳纳米管膜上；

固化所述紫外光固化胶，所述碳纳米管膜固着于所述紫外光固化胶中；以及

去除所述支撑板。

8.如权利要求1所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，黏接所述附着有所述金属粒子或所述半金属粒子的所述碳纳米管膜于所述基底的步骤包括：

黏接所述附着有所述金属粒子或所述半金属粒子的所述碳纳米管膜于一塑料板；以及

去除所述支撑板。

9.如权利要求1所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，所述支撑板为一硅基板。

10.如权利要求1所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，所述光阻的材料为一正向光阻。

11.如权利要求1所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，所述金属粒子以蒸镀或溅镀方式沉积于所述碳纳米管膜与所述光阻上。

12.如权利要求1所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，设置有所述光阻与所述碳纳米管膜的所述支撑板浸置于一半金属溶液中，使所述半金属粒子沉积于所述碳纳米管膜与所述光阻上。

13.如权利要求12所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，所述半金属溶液为碘溶液。

14.如权利要求1所述的偏振元件的制作方法，其特征在于，所述金属粒子为金、银或铁。

15.一种偏振元件，包括：

一基底；

一碳纳米管膜，其设置于所述基底，所述碳纳米管膜包括多个碳纳米管，所述碳纳米管的端部沿一方向相互连接，且所述碳纳米管实质上排列形成多个相互平行的碳纳米管丝；以及

金属粒子，黏着于所述碳纳米管膜的所述碳纳米管。

16.如权利要求15所述的偏振元件，其特征在于，所述基底的材料为塑料或光固化胶。

17.如权利要求15所述的偏振元件，其特征在于，所述碳纳米管丝实质上等间距排列。

18.如权利要求15所述的偏振元件，其特征在于，所述金属粒子为金、银或铁。