[发明专利]曲面人工复眼及其制备方法

权利要求书

1.一种曲面人工复眼的制备方法，所述曲面人工复眼包括：基底和位于基底外表面上的若干复眼透镜，其中：每一个复眼透镜为圆形、六边形或者方形结构；所述的复眼透镜的直径或对角线长度为80～250微米，高度为8～25微米，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：

第一步、清洗硅片衬底并在硅片衬底上溅射金属作为粘着层；

第二步、在粘着层表面旋涂光刻胶，然后通过光刻处理制成柱状凸起结构；

第三步、将涂有光刻胶的硅片衬底置于烘箱中熔化光刻胶，使硅片衬底的表面形成半球形结构的光刻胶凸点，作为平面复眼透镜阵列；

第四步、在光刻胶凸点的表面沉积聚对二甲苯层以复制平面复眼透镜阵列；

第五步、将基底边缘的聚对二甲苯层去除，并经有机浸泡处理后将基底正上方的聚对二甲苯层揭下后固定于气压缸体口并进行塑性变形处理，产生凹弧面；

第六步、在凹弧面内部填充聚二甲基硅氧烷，使其均匀填充每个复眼透镜；然后经固化处理后将凹弧面与聚二甲基硅氧烷层分离，制成具有曲面的人工复眼。

2.根据权利要求1所述的曲面人工复眼的制备方法，其特征是，所述的复眼透镜为凸透镜。

3.根据权利要求1所述的曲面人工复眼的制备方法，其特征是，所述溅射金属为铬。

4.根据权利要求1所述的曲面人工复眼的制备方法，其特征是，所述的光刻处理是指：对涂有光刻胶的位置进行曝光，然后采用AZ-400K显影液显影180秒去除曝光区域的光刻胶。

5.根据权利要求1所述的曲面人工复眼的制备方法，其特征是，所述的熔化光刻胶是指将烘箱温度设定为175℃～185℃，熔化时间为20～30分钟。

6.根据权利要求1所述的曲面人工复眼的制备方法，其特征是，所述的聚对二甲苯层的厚度为4～6μm。

7.根据权利要求1所述的曲面人工复眼的制备方法，其特征是，所述的填充聚二甲基硅氧烷是指：聚二甲基硅氧烷充分填充于薄膜凹腔内，该聚二甲基硅氧烷经无尘常温环境的真空处理除去气泡。

8.根据权利要求1所述的曲面人工复眼的制备方法，其特征是，所述的固化处理是指：将凹弧面和聚二甲基硅氧烷层一同置于烤箱中，以60℃烘烤3小时。