[发明专利]石英舟基准面的修复方法

说明书

技术领域

本发明涉及芯片制作技术领域，尤其涉及一种装载芯片用的石英舟的基准面修复方法。

背景技术

在半导体生产中，需要将半导体芯片放入热处理设备中进行处理。这就需要一种装载半导体芯片的石英舟，将半导体芯片放在石英舟上，再放入热处理炉进行处理。石英舟在长时候使用后，由于不可避免的磨损和热处理时的变形使石英舟的基准面出现尺寸偏差，从而导致生产的半导体芯片时常出现不合格的情况。因此，石英舟在使用一段时间后，需要对石英舟的基准面进行加工。现有的加工石英舟基准的方法普遍采用火抛修复，石英舟在火抛修复过程时常因高温发生卷边、变形、烧损的情况，而且火抛修复会产生大量CO、SO₂等废水废气，造成环境污染。此外，火抛修复方法工序繁琐、效率低下，设备投入大，影响了企业的经济效益。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供石英舟基准面的修复方法。该方法避免了修复过程中对石英舟的损伤，工作效率大大提高，同时该方法工序简单，无需大型设备的投入，还能减轻对环境的污染，为企业取得了较好的经济和社会效益。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案如下：石英舟基准面的修复方法，该方法将稀土磨料涂覆在羊毛毡上，通过此羊毛毡在石英舟基准面上反复打磨，达到对石英舟基准面的修复。

上述的石英舟基准面的修复方法中，所述的涂覆在羊毛毡上的稀土磨料为氧化铈

前述的石英舟基准面的修复方法中，所述的涂覆在羊毛毡上的氧化铈为2800～3400目。

前述的石英舟基准面的修复方法中，所述的涂覆在羊毛毡上的氧化铈为3000～3200目。

前述的石英舟基准面的修复方法中，所述的羊毛毡在石英舟基准面上反复打磨，是通过将羊毛毡固定在转速为2500～3000r/min的辊筒上，将石英舟基准面接触辊筒，来实现羊毛毡在石英舟基准面上反复打磨。

前述的石英舟基准面的修复方法中，所述的固定有羊毛毡的辊筒的转速为300～500r/min。

前述的石英舟基准面的修复方法中，所述的固定有羊毛毡的辊筒的直径为400～500mm。

本发明的有益效果：与现有技术相比，本发明通过将稀土磨料涂覆在羊毛毡上，通过此羊毛毡在石英舟基准面上反复打磨，达到对石英舟基准面的修复。现有的石英舟基准面的修复方法采用火抛方法，在修复石英舟的过程中易使石英舟发生卷边、变形等问题，而本发明采用冷抛方法修复石英舟基准面，无需进行退火等工序，避免了原有火抛修复法对石英舟的损伤；现有的石英舟基准面的修复方法需要多个工作工序，完成一个石英舟的修复平均需要约25个小时，而采用本发明则只需10～15分钟，大大提高了工作效率，同时该方法工序简单，无需大型设备的投入，为企业取得了明显的经济效益；火抛不仅会向大气排放大量CO、SO₂等废气，而且其产生的废水、废渣也是困扰企业的难题，而本发明大大减轻了对环境的污染，亦为企业取得了良好的社会效益。

下面结合具体实施方式对本发明作进一步的说明。

具体实施方式

实施例。石英舟基准面的修复方法，该方法将稀土磨料涂覆在羊毛毡上，稀土磨料采用3000～3200目氧化铈，羊毛毡为普通打磨石英玻璃用的羊毛毡，氧化铈可从市场直接购得，再将羊毛毡摊开固定在辊筒上，辊筒是直径为400～500mm的普通金属辊筒，辊筒通过2800r/min的电机驱动，辊筒的转速为400r/min，将待处理的石英舟基准面人工缓慢接触辊筒，通过辊筒上羊毛毡在石英舟基准面上反复打磨，达到对石英舟基准面的修复。本发明也已经应用于制作石英舟基准面。

本发明的实施方式不限于上述实施例，在不脱离本发明宗旨的前提下做出的各种变化均属于本发明的保护范围之内。