[发明专利]SiCN(O)陶瓷材料及其制备方法

权利要求书

1.SiCN(O)陶瓷材料的制备方法，其特征在于SiCN(O)陶瓷材料按照以下 步骤进行制备：一、按照重量份数比称取20～30份的氮源、90～110份的溶剂和 12～18份的硅源；二、将步骤一称取的氮源和步骤一称取的溶剂置于反应釜中， 封闭反应釜后对反应釜进行抽真空，再向反应釜充入氩气作为保护气体，然后 向反应釜中加入硅源进行反应得到生成物，反应釜内的温度为30～150℃，反应 时间为44～50h；三、将步骤二的生成物进行真空抽滤处理，然后将抽滤得到的 滤液转入真空旋转加热蒸发容量瓶中，在80～90℃之间的水浴中进行蒸馏处理 10～60min，最后留于瓶中的物质即为SiCN(O)先驱体；四、将SiCN(O)先驱体放 入氧化铝管式炉中，在氩气或者氮气的保护下进行裂解，在1100～1300℃条件下 保温4～6h，然后随炉冷却至室温，即得到SiCN(O)陶瓷材料；步骤一中所述的 氮源为氨基甲酸铵，所述的溶剂为环己烷、正己烷、苯、甲苯、乙二醇二甲醚、 二乙二醇二甲醚或四氢呋喃，所述的硅源由甲基乙烯基二氯硅烷、乙烯基二氯 硅烷、乙烯基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷、甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、苯 甲基二氯硅烷中的一种或其中的几种组成。