[发明专利]用于粒子计数器的侧向散射光传感装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种粒子计数器，特别涉及一种用于粒子计数器的侧向散射光传感装置。

背景技术

液体粒子计数器可以对悬浮于液体中的不溶性粒子进行快速的测量，测量精度很高。由 于是在极洁净的仪器内部空间应用光学原理完成亚微米级颗粒的测量，它较其它测量微粒的 方法性能更精确、更方便，所以它有极广泛的应用。目前要求控制的粒子粒径越来越小，如 注射液由蒸馏液转变为超纯水、半导体工业和其它电子工业中超纯去离子水中粒子测量以及 超纯化学试剂中粒子测量等等，其中大部分测量要求最小检测粒子粒径在0.1～0.5μm之间 。因此，目前液体粒子计数器普遍采用了激光散射法，其检测粒径下限不低于0.05μm，该 方法是目前较为成熟的粒径测量方法。其原理为当激光照射在液体中，遇到颗粒物时就会发 生散射，其散射的程度和颗粒物尺寸大小有关。当尺寸增大时，其表面积也相应增大，散射 光的强度也会随之增大，这样只要测定出散射光的强度就可以推知微粒大小。

现有产品化的液体粒子计数器，如PMS公司的液体光学粒子计数器、ROIN公司的液体激 光粒子计数器等等，液路部分的流动室均采用直流结构；已有专利和文章，如ROIN公司拥有 的、名称为“粒子计数器”，公开号为CN101124471A的发明专利和PMS公司的技术文档“ Summary of principles involved in the measurement of particles in liquids”以及 天津大学高志红、刘俊杰等的论文“液体粒子计数器测量原理及校准方法”中，提到的液路 流动室也都采用了直流结构。这种流动室结构简单，易于实现，但是存在明显的缺陷。主要 表现在两方面：一是液体中粒子易积聚，直流结构无法解决这个问题；二是液路流动室测量 区激光测量斑照明强度分布不可能完全均匀，这就导致了不同粒径的不溶性粒子经过测量光 斑时可能得到相同的散射光强度信号，影响测量的准确性。

发明内容

本发明为解决公知技术中存在的技术问题而提供一种能够提高检测准确性的用于粒 子计数器的侧向散射光传感装置。

本发明为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是：一种用于粒子计数器的 侧向散射光传感装置，包括液路部分和光路部分，所述液路部分包括鞘流流动室；所述鞘流 流动室包括自进样整流段始依次同轴连通的进样整流段、加速段和由透明材料制成的检测段 ；所述进样整流段包括样本液进样模块、鞘液进样模块和整流模块；所述样本液进样模块包 括相互连通的样本液进样管和进样针；所述整流模块内开设有鞘流导孔；所述鞘液进样模块 包括与所述鞘流导孔连通的鞘流进样管；所述进样针穿装在与其同轴的所述鞘流导孔内，所 述鞘流导孔与所述进样针之间形成供鞘流液体通过的环空，所述环空的出液端与所述进样针 的出液端平齐；所述加速段内设置有收口结构；所述检测段内设置有毛细导孔；所述进样针 的出液端与所述收口结构的进液端平齐，所述收口结构的出液端与所述毛细导孔的进液端平 齐。

所述收口结构为锥台形，所述毛细导孔的横截面为圆形。

所述毛细导孔的直径为200-400μm。

所述光路部分包括光源及其前向光路和侧向光路，所述前向光路包括在所述光源发出的 光束前进方向上在所述检测段的两侧分别设置的入射透镜组和光陷阱，所述入射透镜组将所 述光源发出的光束聚焦在所述毛细导孔内的检测区；所述侧向光路包括同轴分别胶合在所述 检测段相对两个外壁上的反射镜和透射镜，所述透射镜侧设置有侧向光收集透镜组和侧向检 测器。

所述前向光路和所述侧向光路成90°夹角。

所述反射镜为平凸球面反射镜，所述透射镜为平凸球面透射镜。