[发明专利]直拉单晶炉热场用石墨埚帮无效
| 申请号: | 200910302897.2 | 申请日: | 2009-06-03 |
| 公开(公告)号: | CN101560690A | 公开(公告)日: | 2009-10-21 |
| 发明(设计)人: | 李定武;梁永生 | 申请(专利权)人: | 西安隆基硅材料股份有限公司;西安隆基硅技术有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安矽美单晶硅有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
| 代理公司: | 西安弘理专利事务所 | 代理人: | 罗 笛 |
| 地址: | 710100陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 直拉单晶炉热场用 石墨 | ||
1.一种直拉单晶炉热场用石墨埚帮,包括埚托(7)及放置在埚托(7)上围成锅状的侧板(5),侧板(5)由构成锅沿的直立部分和构成锅底的倾斜部分组成,其特征在于:所述的侧板(5)由等分的2~6瓣组成,每瓣构成锅底的倾斜部分的下边沿设置成圆弧形缺口,侧板(5)的各瓣的圆弧形缺口同心围成一圆口(9),并且该圆口(9)与埚托(7)同轴,所述的圆口(9)内设置有一上小下大的圆锥台形的底板(6),圆口(9)的形状设置与底板(6)的形状相适应。
2.根据权利要求1所述的石墨埚帮,其特征是:所述的埚托(7)为一平底且斜面向上倾斜的圆锥型结构,埚托(7)与底板(6)的下表面保持水平接触,埚托(7)与侧板(5)各瓣的底部部分采用斜面配合,埚托(7)的圆周外沿下表面设置有一圈凸台(10)。
3.根据权利要求1所述的石墨埚帮,其特征是:所述的底板(6)的上端直径R1与侧板(5)各瓣围成的整个埚帮的外径R2之比值R1∶R2为0.1~0.9。
4.根据权利要求1所述的石墨埚帮,其特征是:所述的侧板(5)由等分的4瓣组成。
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