[发明专利]纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成装置及形成方法

权利要求书

1.一种纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成装置，其包括：

具有承载面的承载装置，其用于承载导电待镀工件；

纳米级金属粒子形成装置，其包括第一喷液装置、第一导光体、Q开关脉冲激光器、第一电源供给器，该第一喷液装置具有第一容置腔，包括第一顶壁和第一导电底壁，该第一顶壁设有与第一容置腔相通的第一安装孔，该第一导电底壁设有与第一安装孔相对的第一喷嘴，该第一导光体一端贯通该第一安装孔，且固定于第一顶壁，另一端延伸至该第一容置腔内，并与第一喷嘴相对，该Q开关脉冲激光器设于第一喷液装置上方，透过该第一导光体和第一喷嘴将脉冲激光入射至承载面内，该第一电源供给器的正极与该底壁相连，其负极用以与待镀工件相连；和

金属镀层形成装置，其包括第二喷液装置、第二导光体、连续激光器、第二电源供给器，该第二喷液装置具有第二容置腔，包括第二顶壁和第二导电底壁，该第二顶壁设有与第二容置腔相通的第二安装孔，该第二导电底壁设有与第二安装孔相对的第二喷嘴，该第二导光体一端贯通该第二安装孔，且固定于第二顶壁，另一端延伸至该第二容置腔内，并与第一喷嘴相对，该连续激光器设于第二喷液装置上方，透过该第二导光体和第二喷嘴将连续激光入射至承载面内，该第二电源供给器的正极与该第二导电底壁相连，其负极用以与待镀工件相连。

2.如权利要求1所述的纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成装置，其特征是，该第一导光体为空心管体，其与第一喷嘴相对的端部由透光件密封。

3.如权利要求1所述的纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成装置，其特征是，该纳米级金属粒子形成装置进一步包括第一聚光镜，该第一聚光镜设于Q开关脉冲激光器与第一顶壁之间或固定于该第一导光体与第一喷嘴相对的端部。

4.如权利要求1所述的纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成装置，其特征是，该金属镀层形成装置进一步包括第二聚光镜，该第二聚光镜设于连续激光器与第二顶壁之间或第二导光体的与第二喷嘴相对的端部。

5.如权利要求1所述的纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成装置，其特征是，该形成装置进一步包括连接件，该连接件两端分别与纳米级金属粒子形成装置和金属镀层形成装置相连。

6.一种纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成方法，其包括：

提供如权利要求1-5任一项所述的纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成装置；

将导电待镀工件与第一电源供给器的负极相连，开启Q开关脉冲激光器，利用第一喷液装置将第一电解质镀液喷射至工件的待镀面，形成纳米级金属粒子镀层；

将该导电待镀工件与第二电源供给器的负极相连，开启连续激光器，利用第二喷液装置将第二电解质镀液喷射至工件的待镀面，形成金属镀层。

7.如权利要求6所述的纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成方法，其特征是，该第一电源供给器于第一喷液装置的第一导电底壁与待镀工件之间提供0.05V电压，第二电源供给器于第二喷液装置的第二导电底壁与待镀工件之间提供0.05V电压，该第一电解质镀液和第二电解质镀液的浓度为0.05摩尔/升。

8.如权利要求6所述的纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成方法，其特征是，所述Q开关脉冲激光器的辐射功率为2.5W、5W或7.5W。

9.如权利要求6所述的纳米级金属粒子/金属复合镀层的形成方法，其特征是，所述第一电解质镀液和第二电解质镀液的体积流速为0.5L/min或1L/min。