[发明专利]误差补正方法及采用该误差补正方法的工件测量方法有效
| 申请号： | 200910301481.9 | 申请日： | 2009-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN101858739A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 黄伟;欧阳渺安;李军旗;刘庆 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 误差 补正 方法 采用 工件 测量方法 | ||
1.一种误差补正方法，包括以下步骤：
提供一测量装置，所述测量装置包括测头和导轨；
对导轨的真直度误差进行测量并补正；
拟合测头的安装倾斜角；
计算测头的形状误差；
生成系统误差补正文件。
2.如权利要求1所述的误差补正方法，其特征在于：在对导轨的真直度误差进行测量的过程中，提供一标准球及标准平面，使该标准球和标准平面分别位于测量装置的两侧，所述测量装置包括两个测头，将其中一个测头与标准球的表面接触以对标准球进行测量，将另一个测头与标准平面接触以对标准平面进行测量，通过对标准球及标准平面进行的测量得出所述导轨的真直度误差。
3.如权利要求2所述的误差补正方法，其特征在于：所述测头的安装倾斜角采用最小二乘法拟合。
4.如权利要求1所述的误差补正方法，其特征在于：所述测量装置为接触式测量装置。
5.一种工件测量方法，包括以下步骤：
提供一测量装置，所述测量装置包括测头和导轨；
对导轨的真直度误差进行测量并补正；
拟合测头的安装倾斜角；
计算测头的形状误差；
生成系统误差补正文件；
提供一工件，所述工件具有曲面或者曲线；
采用测量装置对所述工件的曲面或者曲线进行测量；
对导轨的真直度误差进行测量并补正；
对测头的安装倾斜角误差进行补正；
对测头的形状误差进行补正；
系统生成测量误差。
6.如权利要求5所述的工件测量方法，其特征在于：在对导轨的真直度误差进行测量并补正的步骤中，提供一标准球及标准平面，使该标准球和标准平面分别位于测量装置的两侧，所述测量装置包括两个测头，将其中一个测头与标准球的表面接触以对标准球进行测量，将另一个测头与标准平面接触以对标准平面进行测量，通过对标准球及标准平面进行的测量得出所述导轨的真直度误差。
7.如权利要求6所述的工件测量方法，其特征在于：所述测头的安装倾斜角采用最小二乘法拟合。
8.如权利要求5所述的工件测量方法，其特征在于：所述测量装置为接触式测量装置。
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