[发明专利]衬底处理装置和平板显示器的制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及对衬底进行处理的衬底处理装置和使用了该衬底处 理装置的平板显示器的制造装置。

背景技术

平板显示器中有一种是液晶显示器。液晶显示器，在TFT(薄膜 晶体管)衬底和CF(滤色片)衬底之间封入液晶而构成屏衬底，在该 屏衬底的周围的一边至四边上搭载作为驱动IC的电子电路部件。作为 在屏衬底上搭载电子电路部件的方式，有TAB(载带自动键合)方式、 COG(玻璃上芯片)方式、COF(膜上芯片)方式等。在屏衬底上等 间隔地形成有多个以多个电极作为一组的电极组，以在各电极组上贴 附了各向异性导电膜(ACF：混合了导电颗粒的粘接性膜)的状态把 屏衬底与电子电路部件热压接。由此，能够在屏衬底上搭载电子电路 部件。

在屏衬底上搭载电子电路部件时要经过几个工序。例如，以TAB 方式搭载时，主要有三个工序：(1)在屏衬底的电极组上贴附ACF 的ACF贴附工序；(2)针对贴附了ACF的屏衬底的电极组，临时压 接电子电路部件的临时压接工序；(3)把处于临时压接状态的电子电 路部件真正压接到屏衬底上的真正压接工序。各工序在专用的处理工 作台(ACF贴附工作台、临时压接工作台、真正压接工作台)中进行， 把屏衬底依次移动到各处理工作台上进行预定的处理。

在移动到各处理工作台上之前或处理工作台中的处理结束之后， 在专用的检查工作台中进行预定的检查。例如，在ACF贴附工作台的 后段或临时压接工作台的前段，进行是否在屏衬底的预定位置上以良 好的状态贴附ACF的检查。同样地，在临时压接工作台的后段或真正 压接工作台的前段，进行是否在屏衬底上以良好的状态临时压接电子 电路部件的检查。

专利文献1公开了其中的进行ACF的贴附状态的检查的技术。 该技术是，为了判断ACF是否合适地贴附，把屏衬底搭载在透光性的 移动台面上进行定位，用从在台面下方设置的光源照射的光，利用在 台面上部设置的拍摄设备对ACF和电极进行拍摄。然后，基于拍摄到 的影像判断ACF的贴附状态的好坏。为此，在使移动台面位于拍摄设 备下部的状态下使其静止，进行图像取得和图像处理。

<专利文献1>日本特开2003-142900号公报

上述的进行各种检查的检查工作台与各处理工作台对应而单独 地设置。在检查工作台中像专利文献1那样在使屏衬底静止的状态下 用面阵相机(area camera)进行图像取得和图像处理。也考虑了在处 理工作台内设置面阵相机，但是在处理工作台内设置了对屏衬底进行 处理的处理单元，该处理单元会遮挡面阵相机的视野，不能获得屏衬 底的完整图像。为此，针对每个处理工作台设置独立的检查工作台来 进行屏衬底的检查。

如上所述，如果排列多个屏衬底的处理工作台，与各处理工作台 对应而单独地设置专用的检查工作台，则生产线的构成大大拉长，整 个装置构成极端地大型化。而且，由于生产线拉长还产生了处理时间 延迟化的问题。另外，需要在检查工作台中使屏衬底成为暂时静止状 态而进行图像取得，然后进行图像处理等的一连串工艺，从这一点上 看也会产生处理时间延迟化的问题，成为生产率大幅度降低的主要原 因。

发明内容

于是，本发明的目的在于，通过省略检查工作台，实现装置构成 的紧凑化和生产率的提高。

为了解决上述问题，本发明的方案1的衬底处理装置，设置有对 衬底进行处理的多个处理工作台，其特征在于包括：在各处理工作台 中进行处理后把上述衬底向下一个处理工作台节距传送的衬底移动单 元；设置在上述处理工作台内或者前后的处理工作台之间、为了对上 述衬底进行拍摄而在与上述衬底的传送方向垂直的方向上排列了光接 收元件的线阵传感器相机；检测上述衬底的移动速度的移动速度检测 单元；以及利用上述线阵传感器相机取得的影像信号生成帧图像的图 像处理单元，基于上述移动速度检测单元检测的上述移动速度进行修 正以使得上述影像信号的间隔成为等间隔，生成上述帧图像。

根据该衬底处理装置，由于利用线阵传感器相机拍摄移动中的衬 底，所以无须设置专用的检查工作台就能够取得图像，能够使装置构 成紧凑，大幅度缩短生产时间。由于衬底被间距传送，所以伴随有加 速和减速，但是由于修正成拍摄的影像信号的间隔成为等间隔，所以 生成正确的帧图像。