[发明专利]微型质谱仪中空心阴极放电真空紫外光电离源

权利要求书

1.微型质谱仪中空心阴极放电真空紫外光电离源，包括电离室，其特征在于：

电离室中部设置有圆筒状电极作为空心放电阴极，在放电阴极上方设置有金属圆环、圆盘、或圆筒状电极作为放电阳极，放电阴极与放电阳极间留有间隙，

在放电阴极的下方设置有平板状推斥电极，推斥电极中部设置有孔，在孔的下方设置有氧化镁玻璃，由推斥电极和氧化镁玻璃将电离室分隔成二个腔体，上部腔体和下部腔体；

在下部腔体中氧化镁玻璃的正下方设置有离子漏斗，离子漏斗下方腔体壁面上设置有出口，电离得到的离子通过离子漏斗直接引入到质谱分析器；

在离子漏斗上方、下部腔体的侧壁上设置有样品进气口；在上部腔体的侧壁上设置有放电气体进口和出口。

2.按照权利要求1所述电离源，其特征在于：所述放电气体出口与差分真空泵相连；空心阴极放电区域具有一定的真空，真空度在50～200Pa，空心阴极放电区域通入高纯的惰性气体产生真空紫外光。

3.按照权利要求1所述电离源，其特征在于：所述放电阴极与推斥电极间设置有绝缘层。

4.按照权利要求1所述电离源，其特征在于：所述放电阳极与高压电源的正极相连，电极上施加电压400～1500V，空心阴极接地电位。

5.按照权利要求1所述电离源，其特征在于：

放电阴极与放电阳极间距离为10～15mm，放电阴极与放电阳极的圆外径为12mm，空心阴极的内直径为8mm，空心阴极长度为10mm；

所述质谱分析器为垂直加速微型飞行时间质谱。

6.按照权利要求1所述电离源，其特征在于：

采用毛细管或者膜进样装置把气体样品从样品进气口引入真空紫外光后端进行电离，毛细管根据所需真空，内径选择可以在0.2～0.5mm范围内；

真空紫外光电离源的紫外光轴和进样室的空气流向方向垂直。

7.按照权利要求1所述电离源，其特征在于：

氟化镁玻璃采用了2-20片的转盘式设计，当玻片透光率下降时转动转盘换用新玻片，有效保持仪器的灵敏度；

所述转盘式设计是指在下部腔体内设置一可转动的圆盘，于转盘的中心设有圆盘转动轴，在圆盘上设有以圆盘圆心为对称中心开设有孔，孔上设置有氟化镁玻璃；真空紫外光区使用了0.5～1mm厚的氟化镁玻璃透过真空紫外光。

8.按照权利要求1所述电离源，其特征在于：

空心阴极放电区域末端及空心阴极末端使用了氟化镁玻璃有效透过真空紫外光，空心阴极放电产生的真空紫外光电离得到的离子位于离子漏斗内部，直接由离子漏斗实现聚焦。