[发明专利]一种适用于90炉的大投料的热场系统无效
申请号: | 200910264836.1 | 申请日: | 2009-12-24 |
公开(公告)号: | CN102108545A | 公开(公告)日: | 2011-06-29 |
发明(设计)人: | 唐旭辉 | 申请(专利权)人: | 江苏聚能硅业有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 90 投料 系统 | ||
1.一种用于太阳能单晶硅制造的热场系统,包括单晶炉室,石墨埚,托杆,加热器,三瓣埚,导流筒,保温筒,保温盖,其中单晶炉室内设置有保温筒,保温筒上设置保温盖,保温筒内设置导流筒,导流筒与保温盖是连接在一起的,导流筒的上端口与保温盖连接,下端口伸入石墨埚内,加热器位于三瓣埚和保温筒侧壁之间,环绕三瓣埚设置,三瓣埚下端设置有托杆,其中所述导流筒内径范围为到高度范围为330到410mm,所述加热器的内径范围为到所述三瓣埚内径范围为到
2.如权利要求1所述的热场系统,其特征在于,所述导流筒分为导流筒内层.导流筒外层,导流筒内层的内径范围为到导流筒外层的内径范围为到
3.如权利要求1所述的热场系统,其特征在于,所述保温筒分上保温筒.中保温筒.下保温筒.其中保温筒底部有下保温筒,中部有中保温筒和顶部有上保温筒,上保温桶筒的内径范围为到中保温筒的内径范围为到下保温筒的内径范围为到
4.如权利要求1至3任一所述的热场系统,其特征在于,所述保温盖分上保温盖和下保温盖,其中上保温筒上设置有下保温盖,导流筒上设置有上保温盖,上保温盖的内径为到下保温盖的内径为到
5.如权利要求1至3任一所述的热场系统,其特征在于,所述托杆的外径为到
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