[发明专利]纳米氧化锆陶瓷材料微切工艺及设备

权利要求书

1.一种纳米氧化锆陶瓷材料微铣削加工设备，其特征在于：在这种设备的 机架(1)上设有装卡工件的六自由度并联平台(2)，并装有与平台(2)相对 的可安装铣刀的电主轴(9)和可装配激光刀具的激光主轴(8)，其中，六自由 度并联平台(2)有定台板(5)和动台板(3)，定台板(5)固定在机架(1) 的底座(6)上，动台板(3)与定台板(5)相对，定台板(5)和动台板(3) 之间有6个伸缩杆(4)相支撑，每个伸缩杆(4)的两端和定台板(5)或动台 板(3)之间均通过万向结(7)铰链连接。

2.根据权利要求1所述的纳米氧化锆陶瓷材料微铣削加工设备，其特征在 于：所说的伸缩杆(4)是由活塞杆(11)和汽缸(10)组成，汽缸(10)尾端 通过单向阀(16)和电磁阀(15)与气压驱动装置相连，在汽缸(10)上设有 位置检测传感器(13)，通过外接计数器与计算机控制系统相联系，汽缸(10) 尾端与定平台(5)之间以及活塞杆(11)上端和动台板(3)之间均由球形万 向节7相铰接。

3.根据权利要求1所述的纳米氧化锆陶瓷材料微铣削加工设备，其特征在 于：所说的电主轴(9)是由电动机的输出轴与安装铣刀的主轴(17)相连而成， 内置脉冲编码器和冷却水循环系统，主轴(17)通过磁悬浮后轴承(24)、磁 悬浮轴承(25)、磁悬浮前轴承(26)、以及前后两套陶瓷球轴承(22)装配， 主轴(17)装有轴向位移传感器(19)和振动传感器(20)，在铣刀和电动机 附近均装有温度传感器(18)。