[发明专利]高流量环形拖动复合分子泵

权利要求书

1.高流量环形拖动复合分子泵，其特征在于泵体(1)内沿主轴的轴向从进气口到排气口依次串联有涡轮组件、牵引组件，每个组件由一级单元或串联的多级单元构成，涡轮组件的每级单元由涡轮动叶片和涡轮静叶片配合组成，牵引组件的每级单元由光面动叶片和抽气盘组成，牵引组件的末级单元的抽气盘在正面有环形抽气槽，背面为光面，牵引组件的其它单元的抽气盘在正面和背面面有环形抽气槽，涡轮动叶片和光面动叶片与主轴连接成转子体，涡轮静叶片和抽气盘与泵体(1)的内壁固连，主轴与电机组件(8)连接，抽气盘的形环抽气槽底壁上有通孔(13)，抽气盘的环形抽气槽内有隔板(12)将环形抽气槽截断，隔板(12)一侧的抽气槽内有通孔(13)，另一侧的抽气槽外侧壁上有缺口(14)，缺口的外槽壁靠近抽气盘的外圆周，与动叶片的外圆柱面形成抽气通道，相邻两抽气盘中，位于前面的抽气盘的缺口与位于后面的抽气盘的缺口对齐。

2.根据权利要求1所述的复合分子泵，其特征在于涡轮组件与牵引组件之间有过渡组件，过渡组件的每级单元由涡轮动叶片和上、下面开有环形抽气槽的抽气盘组成，抽气盘的环形抽气槽内有隔板(12)将环形抽气槽截断，隔板一侧的抽气槽底壁有通孔(13)，只有下面的抽气槽的外侧壁有缺口(14)位于隔板另一侧。

3.根据权利要求1或2所述的复合分子泵，其特征在于相邻的两抽气盘的通孔(13)错位。

4.根据权利要求1或2所述的复合分子泵，其特征在于同一抽气盘的正面和背面的缺口错位。

5.根据权利要求1或2所述的复合分子泵，其特征在于抽气盘的单面有内圆台阶(15)与动叶片间隙配合。

6.根据权利要求2所述的复合分子泵，其特征在于涡轮组件由多级串联的单元构成，涡轮静叶片(3)之间有隔环(4)、过渡组件由至少一级单元构成，牵引组件由多级串联的单元构成，末级单元的抽气盘(6)的光面上的通孔(13)通水平轴向的排气口(16)，涡轮组件的上面单元与竖直轴向的进气口(17)相通。

7.根据权利要求1或2所述的复合分子泵，其特征在于主轴与光面动叶片为整体，涡轮动叶片为组合体，通过螺栓和垫圈与主轴连接。

8.根据权利要求1或2所述的复合分子泵，其特征在于抽气盘上的环形抽气槽的深度有差别。