[发明专利]喷墨头的喷出异常检测装置及检测方法

说明书

本申请是基于申请号为200580051399.5、发明名称为“喷墨头及其喷 出异常检测方法、以及膜成形方法”、申请日为2005年8月24日的专利申 请的分案申请。

技术领域

本发明涉及喷墨头及对喷墨头的喷出异常进行检测的喷墨头的喷出 异常检测方法和其装置，以及使用该喷墨头的膜形成方法(膜涂敷方法) 和其装置。

背景技术

近年来，利用墨在纸等印刷介质上进行印刷的情况下，在液晶显示器 等基板(透明基板)上进行配向膜的形成和UV墨的涂敷的情况下，或在 有机EL显示器的基板上涂敷滤色片的情况下，广泛采用使用了喷墨头的 所谓喷墨法。

例如，专利第3073493号公开了具备配设有一列的喷嘴的线型喷墨嘴。 此外，在该专利中，如图5～图7所示，也公开有考虑线型喷墨嘴的配置， 从而使涂敷液状材料的处理的速度提高(专利文献1)。

此外，特开平9-138410号公报公开有如下的喷墨嘴，即：作为形成 均匀的膜厚的喷墨头，在规定的区域内多行、多列地配置喷嘴，且使任意 的行的喷嘴相对于邻接的行的喷嘴的排列错开半个间距地配置。此外，在 该公报中也公开了，锯齿状地移动串联地配设了喷出液状材料的喷嘴的线 型喷墨嘴，同时进行涂敷，形成均匀的膜厚(专利文献2)。

此外，作为检测喷墨头的喷出异常的装置，例如特开平5-149769号 公报中记载了，将从喷墨头喷出并飞行的液滴的飞行图像在与该飞行方向 正交的方向上捕获，并假定液滴相对于飞行方向的中心轴为旋转对称形， 相对于液滴的中心轴，对飞行图像进行积分，并计算出液滴的体积(专利 文献3)。

此外，特开平11-227172号公报中记载有，设置时间差，多次摄像从 喷墨头喷出的液滴，并由被摄像的多个液滴图像的位置差与时间差，测量 液滴的滴速(专利文献4)。

此外，特开2001-322295中记载有拍摄时光的照射方法，使光源和摄 像机构与散射板相对地配置，并使作为被测定对象的液滴位于光源及摄像 机构与散射板之间，由散射板使从光源照射的光发生散射，并利用摄像机 构对液滴进行摄像(专利文献5)。

另一方面，作为液晶显示元件的制造工序之一，有在透明基板上形成 取向膜的工序。取向膜是用于控制液晶取向的，在基板上涂敷形成聚酰亚 胺等取向材料而形成取向膜。

作为该取向膜涂敷形成方法，通常为基于苯胺印刷装置的苯胺印刷 法，但近年来，提出了使用打印头在透明基板上形成取向膜的所谓喷墨法 的方案(参照专利文献6及专利文献7)。

在苯胺印刷法的情况下，取向膜的图案形成容易且生产率高，但相反 的，存在如下的问题：1)在凸版表面附着有灰尘的情况下，取向膜材料 未被涂敷在透明基板上的不良重复地产生，2)取向膜材料的使用量多，3) 在由于故障而停止了装置的情况下，需要解锁(アニロック)和洗净凸版 等，因此复位时间变长，装置的运转率降低，4)对于凹凸大的基板或具 有曲面的基板无法涂敷。

喷墨法能够解决这些苯胺印刷法的问题点，可得到稳定的品质。喷墨 法使用的喷墨打印机具有移动式的喷墨头单元。喷墨头单元中通常搭载有 如图22所示一至六个位(图22中为四个)的喷墨头。喷墨头单元在相对 于作为涂敷物的透明基板的行进方向(图22中为右向)90度的方向(图 22中为上下方向)上沿透明基板的宽度方向往复移动。并与该往复移动同 步，使透明基板沿行进方向(长度方向)断续地移动，从而在透明基板上 形成取向膜。

专利文献1：特许3073493号公报(图5～图7)

专利文献2：特开平9-138410号公报(图1、图4、图5)

专利文献3：特开平5-149769号公报

专利文献4：特开平11-227172号公报

专利文献5：特开2001-322295号公报

专利文献6：特开平3-249623号公报

专利文献7：特开平7-92468号公报